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剧烈minus;温和阳极氧化结合法快速制备有序阳极氧化铝膜的研究.pdf
第29 卷 第6 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 29 No. 6
2014 年6 月 Journal of Inorganic Materials Jun., 2014
文章编号: 1000-324X(2014)06-0645-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2014.13525
剧烈−温和阳极氧化结合法快速制备有序阳极氧化铝膜的研究
1, 2 1 1 1 1 1 1
郝爱文 , 黄丽清 , 程 龙 , 李 新 , 张薇薇 , 单冬至 , 冯雪红
(1. 西安交通大学 理学院, 物质非平衡合成与调控教育部重点实验室, 西安 710049; 2. 中国洛阳电子装备试验
中心, 洛阳 471000)
摘 要: 本研究采用剧烈–温和阳极氧化(hard anodization-mild anodization, HA-MA)结合快速制备高度有序多孔阳极
氧化铝(porous anodic alumina, PAA)膜的方法, 即先利用HA 在铝表面快速形成有序凹坑阵列, 然后再对表面留有
有序凹坑的铝基进行温和阳极氧化, 制备出有序PAA 膜。研究了剧烈阳极氧化时氧化电压、氧化时间对所制备PAA
膜有序度的影响。研究结果表明, HA-MA 结合法制备PAA 膜的优化HA 参数为: 0.3 mol/L 硫酸、80 V、10 min。
HA-MA 结合法所制备PAA 膜的有序性和机械稳定性与二步温和阳极氧化法的相近, 但形成有序PAA 膜所需的时
间为4.5 h, 约为温和阳极氧化法的 1/4, 极大地提高了高度有序PAA 膜的制备效率。
关 键 词: 多孔阳极氧化铝; 温和阳极氧化法; 剧烈阳极氧化法; 剧烈–温和阳极氧化结合法
中图分类号: O611 文献标识码: A
Fast Fabrication of Highly Ordered Porous Anodic Alumina Membranes by
Hard-mild Anodization
1, 2 1 1 1 1
HAO Ai-Wen , HUANG Li-Qing , CHENG Long , Li Xin , ZHANG Wei-Wei ,
1 1
SHAN Dong-Zhi , FENG Xue-Hong
(1. Non-equilibrium Condensed Matter and Quantum Engineering Laboratory, School of Science, Xi’an Jiaotong University,
Xi’an 710049, China; 2. Luoyang Electronic Equipment
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