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HEFEI UNIVERSITY 系　　　别 电子信息与电气工程系 班 级 自 动 化 姓　　　名 学 号 完成 时间 2011 / 12 / 30 电容式传感器 摘要：电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器，它具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应性强、抗过载能力大及价格便宜等特点，因此，可以用来测量压力、力、位移、振动、液位等参数。但电容式传感器的泄漏电阻和非线性等缺点也给它的应用带来一定的局限。随着电子技术的发展，特别是集成电路的应用，这些缺点逐渐得到了克服，促进了电容式传感器的广泛应用【1】。 关键词：电容式传感器 传感技术MS9000惯性加速度传感器 压力传感器 CPS120随着世界工业的发展，人们对测量和定位的精度提出越来越高的要求，各国工业研究部门和计量测试部门纷纷投入大量的资金和人力，致力于更高精度的仪器产品的研究，其中研究非接触、大量程、高精度的测量系统是其主流发展方向之一。电容测技术作为非接触式测量的主要手段，其大测量范围、纳米级分辨率、高测量精度等优点得到进一步的发展。电容式因具有如下一些特点而受到重视：①很高的灵敏度和测量精度;②良好的稳定性;③温度漂移小;④功耗极低;⑤良好的过载保护能力;⑥便于利用静电力进行自检。。耐威科技作为瑞士Colibrys公司系列加速度传感器中国地区代理Colibrys的MS9000惯性加速度传感器是一种新的超小型产品，适用于恶劣的使用环境和MS9000 电容式加速度传感器耐用度要求极高的应用领域。这种换代产品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封装，具有从±2g到±250g广泛的加速度测量范围。该传感器可在较大的温度范围应用并且全使用寿命器件零位稳定保证在几mg以内。Colibrys MS9000系列是一个电容式MEMS加速度计，它是由一个立体微加工工艺支撑的硅元件，一个低功耗ASIC专用信号处理器和一个存储补偿值的微控制器以及一个温度传感器等元件组成。该产品是一个低功耗的、校准的、功能强大和性能稳定的产品，其电子配置中带有一个电源重置以防止电压不稳的全保护装置。产品特点：LCC封装测量范围可定制优异的偏差稳定性低模拟电压输出高抗冲击性能集成温度传感器过电保护应用领域惯性测量：航天；航空与制导倾斜测量：运输；仪器仪表；钻探美国Consensic 公司推出革命性新型微机电（MEMS）智能电容式压力传感器CPS120，是全世界唯一一家数字式MEMS电容式压力传感器的厂商。CPS120智能压力传感器基于系统级封装解决方案（SIP），包含超小型电容式MEMS绝对压力传感单元，同时集成智能高精度数字电路（ASIC）和温度传感器。相比其他压力传感器厂商传统的压阻式（PRT）绝对压力传感器，电容式压力传感器可以提供更高的精度、更低的功耗、更好的稳定性和一致性、以及工作在极端温度、湿度环境下的超强能力。CPS120智能MEMS电容式压力传感器CPS120智能MEMS电容式压力传感器测量范围为30-120kPa，工作温度范围是-40oC－85oC, 并提供全温度范围的温度补偿、校准后的绝对压力输出，与其他传统的压力传感器相比CPS120 内部的ASIC增加了DSP单元，用户无需再提取EEPROM中的任何参数，而是直接输出经过温度补偿过的压力信号，减少了对外部MCU资源的占用。在对数字式I2C和SPI总线接口方便用户直接从传感器内部寄存器中读取高精度的压力和温度值。CPS120 高稳定性的14位高精度压力输出值提供0.1hPa分辨率，小于1.5hPa的绝对精度，支持30cm海拔高度变化分辨率；同时温度输出精度也小于±1oC。 CPS120智能MEMS电容式压力传感器高精度的压力和温度输出性能，是测量气压和高度应用的绝佳选择。非常方便的用在天气预报基站、小型天气预报设备中。同时，通过简单的算法可以精确的计算出某地的海拔高度, 海拔高度测量范围可达万米高空；可以用于GPS、运动手表等设备中测量大气压和高度；提供更精准的导航和移动位置服务。例如，跳伞、滑翔、登山运动中的大气压力测量和高度显示，3D-GPS的海拔高度辅助显示，高层楼宇的楼层定位等等。 CPS120智能MEMS电容压力传感器拥有极小的体积，为3mm×5mm×1.2mm的金属盖LGA封装。该封装可以实现1-2米的结构性防水。CPS120智能MEMS电容压力传感器可以提供不同的工作模式：普通模