掺溴非晶碳梯度薄膜的制备和分析.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! ! #$%! ’$! ! ! ! 年 月 ! ())* ! +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 ;=())* ! ! 文章编号! # !))!?@((())*)!))A@)@ ! 掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析 ! ! ! ( ! ( ! ( ! ( 马兆侠 ! 吴卫东 ! 冯建鸿 ! 程新路 ! 唐永建 ! 杨向东 ! ! ! ! ! 中国工程物理研究院激光聚变研究中心!四川绵阳 $ 四川大学原子分子物理研究所!成都 # !! B(!)) (! B!))BC ! 摘 要! 采用低压等离子增强化学气相沉积法用溴乙烷%氢气制备了掺溴的非晶碳梯度薄膜通过样品 !! ! ! 的D.5能谱分析研究了薄膜沉积速率与氢气流量%溴元素原子分数与溴乙烷流量以及溴元素原子分数与刻 蚀时间之间的关系 ( @ !得出了溴乙烷流量%刻蚀时间对薄膜的主要键态含量% 元素 ’ 键态杂化比和薄膜硬 8 E E F F 度的影响结果表明(薄膜沉积速率随氢气流量的增加而线性减小!溴元素含量随溴乙烷流量的增加先增加后 降低!刻蚀时间越长!溴乙烷流量越小!薄膜越硬 关键词! 低压等离子体$ 化学气相沉积$ 掺溴梯度薄膜$ D.5能谱$ 非晶碳 !! ! ! ! ! ! 中图分类号! /B?B 文献标识码! 4 !! ! !!!! ! ) * 非晶碳氢薄膜因在力学%热学%电学%化学等方面的优异性能!其制备和研究已有广泛报道 !? 在激光惯 !! 性约束聚变 #研究中!非晶碳氢常被用作微球表面 烧蚀层材料!用以研究内爆动力学随着 研究 ,8G 8+ ,8G 工作的深入!精密诊断要求掺杂有中高 元素特别是 ! ! 等#的 作为靶材料本文使用溴乙烷