基于U型波导耦合单微环结构的高灵敏度湿度传感器.pdfVIP

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2015-07-26 发布于浙江
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基于U型波导耦合单微环结构的高灵敏度湿度传感器.pdf

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，，，第卷第期光谱学与光谱分析Ｖｏl．３５Ｎｏ．２５６３-５６７３５２ｐｐ年月，２０１５２ＳｅｃｔｒｏｓｃｏａｎｄＳｅｃｔｒａl Ａｎａl ｓｉｓＦｅｂｒuａｒ２０１５ｐｐｙｐｙｙ基于型波导耦合单微环结构的高灵敏度湿度传感器 U １１２１，，，李志全王禄娜李欣张鑫，１．燕山大学电气工程学院河北秦皇岛０６６００４，２．哈尔滨工业大学控制与仿真中心黑龙江哈尔滨１５００８０，（摘要首次提出了一种基于型波导耦合的新型单微环结构湿度传感器该传感器以聚酰亚胺Ｕｏl ｉｍ- ｐｙ，），，，ｉｄｅＰ１作为感湿材料当外界环境相对湿度变化时引起感湿部位折射率的相应变化导致传感器的输出。，光谱发生漂移根据传输矩阵法推导型波导耦合单微环结构的传递函数重点讨论了不同感湿部位对输Ｕ，，。出光谱的影响通过理论仿真确定以型波导耦合单微环结构整体作为最佳感湿部位当型波ＭａｔlａｂＵＵ，，（）导的两个耦合点间的距离为微环周长的整数倍时相比于传统的单微环结构自由光谱范围ＦＳＲ实现加。