共焦检测法在高精度自动调焦闭环控制中的应用.pdfVIP

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2015-07-28 发布于安徽
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共焦检测法在高精度自动调焦闭环控制中的应用.pdf

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第20卷第4期增刊仪器仪表学报 1999年8月共焦检测法在高精度自动调焦闭环控制中的应用沈亦兵扬国光 (浙汀大学现代光学仪器国家重点实验室杭州310027) 摘要光学、气动和电学的方法均可用于光学镜组的离焦检测．本文提出r利用光学共焦原理测量光学系统离焦的新方法．与其它离焦检测相比．该方法具有检测灵敏度高．检测范围适中，响应速度快等优点+特别适用于高精度的离焦检测和控制．论文从理论上导出了该方法检测灵敏度和检测范围的各参量关系．由此分析得出了影响灵敏度和检测范围的参量．在此基础上设计完成了一套可直用于自动凋焦的高精度闭环检测控制系统，并给出丫此闭环系统的控制处理电路和压电精窑弹性关键词自动调焦离焦共焦显微镜 inthe Closed The oftheConfocaiMethod Precision Application Testing High Control LoopAuto--focusing Shen Modern Key of Optical Guoguang(StateLaboratory YihingYang Zhejiang Abstract and methodscanbe in defoeusofthe lens．Inthis electronic applied optical Optical．airpressure testing is with for de_focusof lens anewmethodthe ofconfocal presented． microscope optical paper principle detecting withother hasthe of and methods，it response，， advantagessensitivity，largetestingrangequick Comparing high the forthecaseswhere and ofdefocusareneeded+In suitable precisiondetectingadjusting paper， especially high t