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离子渗氮用脉冲电源的研制 郑州机械研究所卢金生颀敏王红伟 (邮墒：45G052电话：0371-7435415) 摘 要：本文通过对比．论述了离子渗氮用直流电源的缺点以及脉冲电源在克服相应 问题上的优势，研制了100KW离子渗氮用脉冲电源．介绍了其电路原理．此电源具有 很大的推广应用价值． 关键词：离子渗氮 脉冲电源 1概述 辉光离子渗氮作为一种硬度高、变形小的钢铁表面强化技术在工业领域已得到了广泛的 应用．但传统的直流高压电源存在一系列的问题，有一些难以克服的缺点； (1)离子渗氮过程中既要防止大电弧 的形成，降低电弧能量、又要利用微弧清 R 洗净化工件，一般的电路除设计有LC振 荡灭弧、电流截止灭弧以外，都串联有限 流电阻R．见图1． (2)在离子渗氮过程中，炉内电压、 电流须处于异常辉光放电区∞C段)的范 围，这样才能保证工件均匀地被辉光覆 圈I直漉电潭的原理示童圈 盖．一般当离子功率密度大于O．4W／em2 时才足以产生辉光放电，见图2。在装炉 v 量少时。要维持一定的辉光功率及温度达 到平衡．只有增大冷却水流量。据介绍， 严重时冷却水带走的能量占总功率的40％ 之多。 (3)工件上的小孔、深孔、沟槽部分 常会产生空心阴极效应，造成局部温度过 高、硬度下降，对于形状复杂的工件难以 获得均匀的渗氮层。 A 舶2低压气体放电伏安特性曲线 如果是采用脉冲电源进行离子渗氮， 可以克服以上不足之处。其优点如下： (1)在脉冲电压的作用下．炉内气体放电受高频电子开关的通断控制，弧光来不及发展 即被灭掉．电路上不再需要其它灭弧措施，因而取消了限流电阻．可大幅度节能．同时．由 一l弱一 于灭弧速度高，从而使渗氮初期的表面清理速度快、效率高。 (2)在提供大的瞬时能量的同时，可以保持较小的平均能量，可将工件升温、保温所需 的离子能量借助于导通比a来调节．从而将辉光放电的物理参数与控制温度的参数分开，实 现独立调整，提高渗氮质量． (3)空心阴极效应的产生是由于离子一电子的相互作用．产生雪崩效应，引起载流子的 聚集所造成的，采用脉冲电源后载流子的聚集被脉冲间隙中断，从而抑制了空心阴极效应， 改善复杂零件的温度均匀性。另外，对于原来需要堵孔屏蔽的某些零件可直接装炉渗氮，简 化了工序。 2采用的方案 根据离子渗氮工艺的要求，脉冲电源的工作频率为800～1000Hz，最高工作电压为1000V， 电流幅值约为100A。在电源的控制电路中，要求对脉冲的占空比进行调节，对炉内温度要实 现PID调节控制，对打弧能进行检测与保护。对于主回路的实现，可以有多种方式，如：直 流斩波方式、逆变方式等，可选用的开关元件也很多。考虑到成本及电路的简洁可靠．本电 源利用老式直流电源进行改造，增加斩波部分及控制部分．实现其功能，具体框I虱如下： 圈3脉冲电源框图 一137— 3电源工作原理 3。l圭回路 三相交流电经电源变压器升压后，再经晶闸管三相半控桥式整流、滤波，输出连续可调 0～1000V直流电压，炉体阴极与电源负极之间接一高耐压、大功率IGBT管进行斩波，1GBT 两端并联一RCD缓冲吸收电路，用以吸收IGBT瞬时关断时回路中形成的过压．并配以LEM 电流、电压传感器向控制回路提供反馈信号。 —]==r、o厂～| 占- } ] { l l L4㈠．◆ I 占一