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微波集成电路CAD技术 吴洪江高学邦杜红彦王小旭郭炳辉王毅 (信息产业部lUf13所050051) 高葆新赵德松 (清华人学100081) 摘要；本文简要介纠T臼土开发的微波无源元件建模、微波有源器什测试建模、微波毫米 波1CCAD、滤波器设计等微波集成电路CAD软仆，给出J：这些软件的功能羊11隼々点。 关键词：微波集成电路CAD软件 1．引言： 随着、#导体加lI．艺的发展，微波集成电路已从微波混台集成(MIC)发展剑微波单片集 成(删Ic)，频段扩展到毫米波段一i{一年前人们还可刑手算凭经验完成频率较低的MIC设 计，艇当进入微波商端雨i姗Ic时人口J必须借助CAD技术完成电路的蹬计。 目前，常抖j的微波电路CAD 等。这些J：具均有友好的埘户界面，原理豳编辑器和幽形结果显示等。可完成多种微波电 路的改计，如低噪声放火器、功放、氍频器、振荡器、滤波器、移相器等，尤其ADS还可 完成微波子系统到电路版图的设计，可谓功能十分强人。但随着额段的提升，纳米栅器什 和微波MCM的出现，微波电路设计1．具在元器件模型建立，电路分析方法等方面需进一步 加强研究。 国内在“七五”、“八五”期问，由j：国家的重视，微波集成电路CAD技术的开发麻 州有了较人的发展[3j．尤其“九芤”期间我们在过去的摹础上针对我国通信电路产业的 发展年ll目前微波也路设计I具的现状开发r多个方便实川具有特色的软僻系统[4]。 F面对我J开发的儿个较成熟的软件如微波无源元什建模、微波有源器件测试建模、 微波毫米波ICCAD、滤波器设计软件臀作简要介纠。 2．微波无源元件建模软件 微波无渊元rl：的建模精度直接影响微波集成电路的、垃计精度，由丁．微波无源元件种类 繁多，尤其不连续性元{，l：在毫米波段采_l{』通常的方法很难建立精确的模礤，必须采H{电磁 场方法才能得到较为精确的模型，而解电磁场方科1F常费时，不适用丁电路的优化，吲此 我们采取先用解析法或等效电路模型或简单的二维电磁场模型进行电路的优化，蒋瑚精确 的二维电磁场模梨对电路进行分析，从而保障了精度和速度。 微波无源元仆建模软件采埘二维或二维电磁场理论IH场匹配法、直线法、矩晕法、谱 域法等建立微波无源元件模型。 目前该软件可jH丁-分析微带及微带不均匀瓯元件14种， 如T型结、十字节、阶梯跳变等：集总类元仆9种，如螺旋电感、薄膜电容、键台引线等：微 较高效率和建横精度，软件采_}l；}vc++编写，有趣好的用户界面，方便实_}}j。豳1是微波无 源元件建模软件的界面，用户点击左侧的按钮选择要建模的元，}：罱弹出元忭参数输入窗 口，给山元件的儿何尺寸、基片参数和频率范嗣就可计算出元{，{．的s参数。 3．微波有源器件测试建模系统 微波有源器件测试建模系统由微波器件高频脉冲测试仪嗣『建模软件等组成。主要功能 是通过高频脉冲测试克服器件的热效麻羊|l电子陷阱效应以获得较精确的测试结果，再由建 模软什根据测试结果得剑器什的多种模型，包括商II{』和我们自已设计软{，{=中的模型。 3．1微波器竹高频弥冲测试仪 (1)!二缝厦堡：由微机产生不同鬣级的扫描脉冲作为f作电硪，加至器什漏栅端口，通过数 据采集系统，实时检测器r{：特性参数，由计掉机进{j数据处理．汁算有芙数据，最后打印 数据羽l曲线。 一471 渤 i镧潮麟铡骥lv¨赣l澎■目篇|辫I域测湫溪颡蠢誊鞭≤jl蕊黪誊攥鬻露委≤ ¨^G812AN6黼s1气啪 ¨A6s14州6 F幅rcqHu对e“吖眦副1^HG ’霉 0．5709-0．‘10．51117·O．37 1．∞0．4292一9．9E 。 ‘……’ 0．4S99-2‘’ 。‘ 慧