硅微加速度计及应用.pdfVIP

第20卷第4期增刊 仪器仪表学报 1999年8月 硅微加速度计及其应用+ 徐毓娴 龙志峰 李庆祥 薛实福 (清华大学精密仪器系北京100084) 摘要硅徽加速度计是一种最有发展前景的微结构加速度计，在周外应用已很广泛，在国内尚属空白。本文介绍一种力平衡 式硅微加速度计，它的作用原理是基于经热的牛顿力学定律，当传感器感受加速度时．检测质量反向移动．于是形成电容的 变化，该信号经放大解调后反馈给加力电极，产生静电反馈力用束平衡检测质量的惯性力，利用此反馈力所对应的输出电压 作为加速度的度量。文中还舟绍了它的基本结构、伺服电路组成，并存我校强度振动中心对其静态、动态特性进行标定，首次 利用该加速度计对遥控车行进中的加速度、速度和位移进行了实测，结果表明：该加速度计体积小、结构紧凑、性能优越．价格 低廉，特别适合放置在车辆，桥梁等物体内，有着广阔的应用前景。 关键词加速度计静电反馈力遥控遥测 MicromechanicaiAccelerometersandIts Applications