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提高熔石英玻璃抗355nm激光损伤能力的实验研究 杨明红，齐红基，赵元安，易葵 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室，上海201800 摘要：熔石英玻璃在光学加工过程中造成的弧表面缺陷(SSD)对其抗激光损伤的能力有严 重的制约作用。本文通过实验详细研究了磁流变抛光技术和HF蚀刻技术在消除亚表面缺陷 方面所起的作用。实验结果显示，经过最优方案处理后的样品相比未处理的样品，裂纹数密 J／cm2。 度)A-103cm。F[绛NlOcm～，熔石英表面的抗激光损伤能力从13．2提高到30 关键词：亚表面缺陷，激光损伤，磁流变抛光，湿法刻蚀 同一批次切割并研磨的四块熔石英样品(康宁7980)，尺寸为050mmXlomm，分别经历 不同的光学加工和表面处理过程，如表1所示。其中下角标0代表研磨样品未进行深酸蚀， 方式，抛光粉为Ce02，去除深度未加控制，以传统方法判断直到抛亮为止；磁流变抛光去 酸蚀深度约400nm。浅酸蚀的作用是去除抛光再沉积层并打开闭合裂纹，以便于划痕／裂纹 密度的统计。 NTl 表面粗