低压直流辉光等离子体放电特性.pdfVIP

第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下) 低压直流辉光等离子体的放电特性 茅卫红，张慧云，陈宏 (清华大学物理系，北京100084) 摘 要：研究了氮气低气压直流辉光放电等离子体在不同压强下的放电特性．用 langmuir双探针测量等离子体中电子温度，并研究放电管中不同位置的电子温度及放电功率 等因素对其的影响． 关键词：等离子体；langmuir双探针；击穿电压；电子温度 1 引言 等离子体是由大量的带电粒子组成的非束缚态体系，是继固体、液体、气体之后物质的 第四种聚集状态。等离子体有别于其他物态的主要特点是其中长程的电磁相互作用起支配作 用，等离子体中粒子与电磁场耦合会产生丰富的集体现象。等离子体技术是一个关系国家能 源、环境、国防安全的重要技术，气体放电是产生等离子体的一种常见形式，在低温等离子 体材料表面改性、刻蚀、化学气相沉积、等离子体发光等方面有广泛的应用，同时也是实验 室等离子体物态特性研究的重要对象。 典型的直流辉光放电实验是在一密封的石英玻璃中充满待要放电的气体，并插入两个金 属电极。，当管内充有一定压强的气体，且当电源电压V高于气体的击穿电压时，气体开始 龟离，形成辉光放电。直流辉光放电装置的优点是结构较简单，．造价较低，很适于实验教学 使用。本文利用了这样一个装置，研究了压强t功率等对直流辉光等离子体放电特性的影响， 并对结果进行了分析、讨论。 2 基本原理 2．1稀薄气体产生的辉光放电 直流辉光放电管的伏安特性如图l所示。在不同的放电过程，气体的伏安特性曲线很不 相同。．本实验中，．由于条件所限，不能测量完整伏安曲线，只能对其中一部分进行研究。外 部条件的改变。(压强、．电极间距等)也会影响到气体的放电过程。 图1气体放电伏安特性曲线 —-452— + 图2低气压放电现象 经典的直流低气压放电在正常辉光放屯区如图2所示。在放电管中，从阴极到阳极基 本上可以划分八个区域，其中正电柱区是我们感兴趣的等离子区。其特征是：气体高度电 离；．电场强度很小，且沿轴向有恒定值。这使得其中带电粒子的无规则热运动胜过它们的 定向运动。所以它们基本上遵从麦克斯韦速度分布律。由其具体分布可得到一个相应的温 度，即电子温度-但是，由于电子质量小，它在跟离子或原子作弹性碰撞时能量损失很小， 所以电子的子均动能比其他粒子的大得多，这是一种非平衡状态。因此，虽然电子温度很 高(约为105K)，但放电气体的整体温度并不明显升高，放电管的玻璃壁并不软化。 2．2等离子体诊断 测试等离子体的方法被称为诊断，它是等离子体物理实验的重要部分。等离子体诊断有 探针法、霍尔效应法、微波法、光谱法等。在众多测量手段中，郎缪尔探针法被认为是最简 便的一种方法。郎缪尔探针法由伸入等离子体内的导体作为探针，向它施加电压，通过测定 探针电流，得到电压-电流(V-D特性曲线，从而求得等离子体的参数。 双探针法的理想伏安特性曲线如图3所示。在坐标原点，两根探针之间没有电位差，但 由于两个探针所在的等离子体电位稍有不同。所以外加电压为零时，电流不是零。从图中，、 T ．严 子电流Is ．J’ V 图3理想双探针曲 电子温度可以由以下式子得到： 瓦==牛 (1) 2七——=三一一 dK瑚肛o) e=1．6x x 10—9库，k=1．38