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变精度相位去包裹方法 王昭赵宏乐开端谭玉山 £西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所7t0049} 摘要本文提出了一种新的相位解谓术郎变穗度相位去包裹方法.对一物体进行糖赣两 次测量,粗精度穗量是为了使其相位图简单,可按一般的去包裹方法解调出相位,然后葛利 用已解调的相位结果对高精度溺显得到的包裹图进行去包裹.在实际中我们首次采用了政 变光源位置的手段实现变精度洌最过程,复整个过程完全自动化. 关键词变精度测量,相移,相位去包裹 1.引言 在奠尔轮廓术及敖斑计量术等领域,自从引入相移技术以来,相位去包裹问题一直匿挽着 人们不断对其进行研究,因为它是正确疑得全场被测数据的关键.本文着重讨论了葜尔轮 彝穴甲碍孑羹尔毫::1芝穗穆和稷生孟琶要i:题,≯邑惑和亍法同样适用子冀它方法中jj乓 位去包裹问题. 2.相移阴影奠尔法 2.1.阴影葵尔法关于阴髟莫尔法更详细田原理分析和公式推导可参阅文献[2】,在达里为 了下面叙述清楚只作简单的说明.在圈1串,s点为光源位置,c点为观察点即摄象机的入踵 位置,且S和c点与光酆的距离相等均为fs和c点相距d,光栅周期为p.那么在观察点处差 过光栅观察副的奠尔图光强分布为: 上式中只有最后一项代表楚尔条纹囝的分布.因此葜尔条纹图分布方程为 如㈡=A+8cosl.并毒jj 式中^、B为与x、Y有关的常数.当D)z时,上式即为 m㈡一胁『竽(字)1 上式为一同期分布函数,其条纹问隔为2筇,射 簪一百2。-S.z:;=2刀j拉=z一毛=孚l1』口 fF 从物理意义上潜它代衷丁一纽等高线 2,2.桶移技术引入阴影葜尔挂中从上萄的分析知、阴影奠尔法左三终弼量中得到的仅仅 是物体的等高线,而且无法从~辐奠尔图串判94物体表面的凸凹,丽檀移技术的引A往好她 解决了这一问题.设妒:三!墼通过使。值分别改变。、要、以;宴则考 Z口 z ‘ 差耋 , fo(z,y)=A+口 妒 ,1tr,_y)=A+B 洒 ‘(z,y)=A+Bp 2j。2。’。。一Io—-一 ∽ 厶(z,Y)=A+口妒 未∥堑2 E.,,,●、r,\,●lL 在阴影奠尔法中要实现上述三步相移,可涪光船平面作法向平移c、;△:、;、43-az来 实现、并可用计算机控制一驱动系统来实现精确的辐移. 变精度测量相位取包囊方法 3.1基本原理上面得到田式(4)的枢位值仅仅是原理相位僵,箕筐埴定义在(一墨叫同,所 以相位分布图在~刀与石处将出现断点,这个断点的数值为2n石(n力整数),B口通常稃为受模 2刑并包裹、因此把恢复真实相位分布的过程裨为云包密处理过程.以仨去包裹的万法很多 但可归螭为两类:一类为依美于路径孵方法,这种万岳一段是寻找罂客寺托不连续点或相位 边缘位要,利j{j这些信旦弄算翱位鹃:毫移基,托’i芝叼主包裹方毫戋连爱更路径笔方法;另 一娄为不依赖于路径的方毫该万暑j求p;.鞠蕊鬲郅萋舟;;逼童薹薯毫j,把它门从去包 蹇过程中圭除.文献f31曼出j’一稀}.:为二》:嗣曼轮廓术的万洼:仁:=击置不俊段于路径也 不需识;i和隔离最差点,乞是点近对竣器物每逆牙蔼敬羽量后,碍;。写罐兵苇1不商堪量精度 L 的原理相位图,其中一辐相位囝仅有零级条垃,然后就可以营助它对另~辐具有较高精度的 相位图去包裹处理.而且在整个处理过程中,始终是各点独立地进行去包裹处理,不需要借 助其它任何点的相位信息来迸行判断.

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