飞速发展的磁传感器.pdfVIP

申雷电子学台’98敏感技术学术年会论文集98年9月 一 。飞速发赓两磁祷惑蠢 涂有瑞 南京中旭微电子有限公司 美键词t 躺，磁性，传墓舞，产业性应用．产业化 擅耍 信息产业的高连发晨和电子计算帆的广泛应用，对传巷鼍提出了造切瞬．箍田宽广、品种多 样曲大量需求．促进了传癌嚣的飞连麓展．磁场嗣量方法和仪霉的发晨为磁传岳嚣的发晨羹定了 技术基瑚．先避的材辩爰工艺技术和产业性应用的大量需求檀鲭台．形硪了翻车蓐嚣产韭．本丈筒 蔓地谭连磁特黪器的敏晨岜甩拣况耜产业他笈基的一些靓臣． 。 I发晨简况 为适应日盗发展构辩研、生产和社会生活备方面的需求．使磁传感器褥戮了飞速的发展。 形成7种凌繁多蔚产晶． 一 早先的戳传感器．是伴随翻磷仪器的进步丽逐步发展羽．从本世纪六十年代起，在磁场 凋量方法和铡磁仪器方面．已有许多作者进行了综述。[1】，[2】，(3】，【4]．在众多的潮量 方法中，大都先进行碓电转换，将戳场信息变成电讯号来进行测量．这个转换器，在测戳仪 器中是。撵头’或。取样装置8，这就是磁传感毒．这些文献大多对传感头的工作原理。设 计要求进行了分析，并对磁场测量的应用作了评述． 随着信息产业，工业自动化、交遥运输、电力电子技术、办公自动化、家用电器、医疗 仪器等等的飞速发展和电子计算机应用的营及，需用大量的传癣器来将需进行测量和控制的 非电参量．转换成可与计算机兼窖的讯号。来作它们的输入讯号。强丽促使各种传感器的快 速发展。磁传癣嚣可将备钟场合中的磁信息变成电讯号输出。且可以通过它们的读出电路或 讯号处理电路将输出讯号变换成可与计算机接口的讯号．而且，还可使用磁场来作工作媒体， 将许多非电、非敲韵信息．倒如物体的位置、位移、运动的逾度加速度，转速、角度．角速 度以及巍逮、流羹、力、力矩、转矩、应变、应力、压力等等转换斌磁场的变化，用磁传感 器来进行检测．此外．随着材料和工艺技术的发展，人们还利用某些材辩，饲如一些非晶金 属或合金产生的力一磁效应的逆效应，将移濑变形产生的应力击影响材料的磁特性。使之产 生变化．挺出这些变化．来检测机械特性。饲如力矩、压力等。制造出新型的磁传蹲器．还 有人利用材料的热磁特性，饲如调整居里点或剩用它们的饱和磁通密度或初始磁导率随温度 的变化等翻造出磁性温度传感器．还有，以各种初级磁传感器为基础，利用各种新工艺，倒 如混合集成等，制造出供如无触点开关·接近开关，电流，电压，电功率传感器或变送嚣． 磁头等“=次产品。，使磁传绉嚣的用途日益扩大。满足了许多产业性应用的衙求．促成了 磁传藤器堡产的产12化，形成7褶当可魂舶磁传感器产韭． ◆ 表I主要的磁传惑器 名称 工作甄理 主要材料 工作范匿 主要用途 藿尔元件 墨尔效应 G‘SOInsb。G“岛 无刷电机、微型开关． InGILAj／1旷～101． ．平面霍尔元件(对垂 №bA5E 接近开关、高斯计、磁 2I)EG 直于芯片表面的磁场 ^JGa^s^Ga^s 性体检测遗度、转速检 敏巷)