高温金属氧化物陶瓷湿度传感器研究.pdfVIP

08湿度·水分·气体 叮彬≯莎高温金属氧化物陶瓷湿度传感器的研究 沈君权任睢嫱王瑞莉唐竹兴藜成葩李从勤潘缉涵 (国家建材局山东工业陶瓷研究设计虢，255031，淄博) 摘要 本文论述了采用湿法台成可在高温(150C)下应用的改性羟基磷灰石 (PAp){舂醒粉料工艺及有关性能，系统研究了应用上述改性}卿感湿粉料，采用厚 膜丝搠印刷工艺技术制成的湿敏元件和传感器的各项湿敏性能，探讨了有关工艺参 数带对元件性能的影响。通过中国建筑科学研究院空气调节研究所近2年的系统测 试，首次给出了高温(150℃)下的湿度一电阻特性曲线。 关键词离i尉金属氧化物改性羟基磷灰石陶戳敏元件 引言 高温金属氧化物陶瓷湿度传感器，具有独特的物理化学性能，温、湿度测量范围宽，稳定性 高，成本低，因此受到人们的高度重视，现已相继开发出许多有实用价值的湿敏材料。}IAP(羟基磷 灰石)陶瓷材料，耐高温、抗腐蚀、价格低廉，通过适当控制其组份，改变其合成条件可以获得改性 的，其有优质微观结构的粉料，采用丝网印刷厚膜工艺和叉指状面电极，可以制得精度高。响应快， 性能稳定的传感器。 1粉料制备与性能测试 1．1删4制备 }lAP人工合成方法有湿式的液相法，干式的高温固相反应法，还有水热育成法3种。湿法由于在液 相中配制，各个组份的含量可精确控制，并能实现在分子级水平上的均匀混合，这对须通过加入一定 的改性和活化荆的反应尤为重要。另外，通过严格控制其反应条件和得到微米级的粉体，粒径分布 窄，形状为米粒状的高纯超细商活性的颗粒料，这对于制造多孔陶瓷湿敏传感器同样是至关重要的。 采用化学沉淀法含商扛帮的主要鼹料的纯度均为化学纯㈦l，按c衫F1．∞～1．67，(理论配比为 (^哪2田)—啦oI卜钟Q3P吣峨0 (1) 3(N呦挣，艟l删一(N呦：o(咖3CH (2) (Mpm(P∞艘5c＆(嘲2叫‰(P∞d时1洲”q (3) 综合上式可写成： (4) 反应完成后，经离心、清洗、烘干、600C煅烧，研细过420目筛，备用。 1．2H^P幸斛埘捌定 采用c}12型扫描透射电镜和颗粒分析仪对液相法人工合成}忡粉料的形貌、大小和分布进行分 ～．。。 二 40 沈君权任雅姗等高温金属氧化物陶瓷湿度传感器的研究 粒状，分布较均匀。 表1液相法^工台髓咄*糟料化学成分与特性 蕾 摹 2湿敏元件和传感器制造 2 1湿敏元件和传感器制造 将人工合成的高纯、超细、高滔性}nF感湿粉料、无机粘结剂和有机溶剂按一定的}E例调和成浆 料‘j“。 将浆料通过丝网印刷机，印刷在印有金电极的氧化锚基片上，经50～踟℃烘干，入电炉经600～ 黜嘴烧备用。 将中o．5m的铜丝去除表面锈迹和油污，上一层光亮的焊锡，制成引线，焊接在经检查合格的涂 有感湿料的氧化铝基片的两个金电极焊点上．制成湿敏元件。将上述感湿元件再焊在基座上，制成所 需的湿敏传感器。 3工艺参数对湿敏元件性能的影响 3．1反应温度对湿敏元件性能的影响 t。 Id 讨 Ii ．Ii ．时 i，d