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多晶硅表面制绒技术研究现状.pdf

· · 多晶硅表面制绒技术研究现状/周兆忠等 55 多晶硅表面制绒技术研究现状’ 周兆忠1,吴 拮2,冯凯萍1 (1衢州学院机械工程学院,衢州324000;2合肥工业大学宣城校区机械工程系,宣城242000) 摘要 光伏产业在新能源发展规划中占有重要地位,目前多晶硅太阳能电池已经成为太阳能电池市场主流。 硅片表面绒面的质量对太阳能电池转换效率有重要影响,多晶硅表面制绒技术也越来越受到世界各国的重视。掌握 多晶硅表面制绒技术的原理及特点对提高表面绒面质量十分重要。首先分析多晶硅表面制绒的技术要求,随后根据 不同的技术原理,依次对干法制绒技术、湿法制绒技术以及掩膜制绒技术进行综述,详细分析不同制绒技术的技术特 点并阐述其应用实例,随后从绒面质量、制绒效率、成本以及环保性等方面对多晶硅制绒技术进行评述,最后对多晶 硅制绒技术的发展趋势进行预测。 关键词 太阳能电池多晶硅表面制绒 中图分类号:TB305文献标识码:A DOI:10.11896/j.issn.1005-023)(.2015.09.008 on for Silicon AReviewSurface TexturingTechnologyMulticrystalline ZHOU Zhe2,FENG Zhaozhon91,WUKaipin91 SchoolofMechanical (1 ofMechanical 324000;2 College Engineering,QuzhouUniversity,Quzhou of 242000) Engineering,HefeiUniversityTechnology,XuanchengCampus,Xuancheng AbstractPhotovohaic an roleinthe ofnew thesolar industryplaysimportant developmentenergy.Atpresent cellmarketis seized siliconsolar the ofsurfacetexturehas inf- cell.As mainly bymulticrystalline quality significant luenceonthe ofsolarcells,thesurface for siliconis at— efficiency texturing multicrystallinedrawinggreat technology tentionfromcountriesaroundtheworld.For surfacetexture ofthemechanisms

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