雙傾角影像法量測數值孔徑修正係數.pdfVIP

笺倾角影像法量测数值孔径修正保敷 陈彦良 ． (工桨技街研究院量测技街骚展中心，新竹300) 摘要本艾提出一獯量测数值孔径修正僚数的新方法，耩之焉。蔓倾角影像法j。牌反射镜贴附 於方规上表面，使方规置於干涉颓微镜之载台上，韭尊入罩波畏光源。另於方规侧遵架上自勤视车儇， 以量测方规之倾斜角度。调整戴台做正反向倾斜後，分别纪绿比二倾角之千涉绦纹影像，再利用弦波 撮合法由影像求出空蠲频率值，最後由上述各量测值可求出此修正像敦。我们以一放大倍率鹚10倍之 Mirau型干涉颢微镜镜顼揭待测封象，测得修正像数值蔫1．01936，另外由於量测方法之设计，使得比 修正像数值可追溯至畏度舆角度棵翠，依此评估其相封棵率不碡定度值舄5．7×10“。 1．前雷 Force 近代表面形貌量测技衍的霰展，包括目前廑泛使用的原子力颗微镜(Atomic Microscope，AFM)、揖描式穿遂颓微筑(ScanningTunning 貌量测倦器，目的都在於提高裢向舆侧向之量演0解析度舆辈碓度。另外傅航使用於表面粗度 或表面翰廓梭测之接髑式探针量Nlj倦(ContactStylusInstrument)，以及光孥非接髑式之表面形 貌量测俄器例如干涉颢微筑(InterferenceMicroscope)舆共焦颢微筑(ConfocolMicroscope)等 heightstandard)或深度檩章 等，上述遭些量测俄器的税轴量测值，必须使用隋高檩辈片(step Standard)力N以校正，而此一檩犟片的高度或深度，可利用光干涉的方法追溯 片(depth。setting 至米定羲。 属了我展具追溯性之奈米陪高校正系统，我们外膊一蔺用干涉颢微筑蓝加以改装而逵 成。在陪高计算方面，我们使用直接干涉憬放分析的方法，分析待测陪高位遁之干涉憬，钕影 像中，上下雨表面的傈艘相位差，监将光源改装成穗频雷射光源，以逵到追溯目的。 然而封於颢微系统而雷，喾光反射於檬本上不同高度的表面畴，，由於颢微镜鲼在聚焦峙 的光束爽角，将游致光程的路径差舆垂直方向的雨倍高度差有少斡差巽，其相位之燮化亦因 此而有少轩差具[1]o如圃l所示，此一差冥畲表现在喾以倏救分析方法或相移干涉衍量测陷 高高度畴，量测的秸果合小於寅隙的高度，因此必须乘上—修正保敷。 通去常以橙骏公式束浃定此修正保敷[1】，然而依掠程骏公式蓝燕法连成檩举追溯的目 的：另外的浃定方法是以一陪高檩犟片之校正值反推，但我们正是要我展喈高檩举片自我追 溯的能力，因此亦燕法如此逢行。 由干涉憬救陶距舆檬本倾斜角度的筒罩三角函敷丽保，我们自行毅种阕骚毅种了一倜新 方法，稻之属r竖倾角影像法J(Double-TiltImagingmethod)。藉由自勤视举俄量测方规之 侧面倾角监配合方规填面之千涉绦救，可量得数值孔径修正保数值，监可使其量测值具有追 溯性。 一133— 圆1数值孔樱大小舍影磐光程差以及陪高量涮值之判断 2．隋高檫辈追溯 目前 ：度量横檩举寅骇室(NML)已平Ij用计量型干涉颢微镜完成建立陪高校正系抗，将 原来商用干涉颢微筑之白光光源置换成穗频氦氖雷射光之後，属了消除雷射光在光辍中傅邃 後造成的其他干涉光斑雅飘(sparkle)，在雷射光逛入鞭微镜的前端架觳一片旋搏毛玻璃，以 破壤光源的空周同羽性(spatial coherence)。藉由量测干涉绦被的同距或相位差，待校檩拳裁 片上的高度值便可橙由穗频雷射光波畏而追溯至米定羲a圃2属陪高檩辈追溯圃，封於探针 式量测馕[2]、干涉颢微筑[3】或原子力颢微镜【4】的使用者而雷，在校正垂直方向的位移探颈 感测器睛·通常使用喈高檩举片[5】，而此檩辈片之陪高檩革剐可透通种量型干涉颢微筑上的 穗频雷射光源追溯至米定羲。 DefmitionofMe