铝合金表面TixAlyN薄膜构成及耐磨、耐蚀性探讨.pdfVIP

铝合金表面(Tix AIy)N薄膜构成及耐磨、耐蚀性探讨 王齐伟，左秀荣，黄晓辉，史新伟，倪培相 (郑州大学材料物理教育部重点实验室，河南郑州450052) [摘要]传统的阳极氧化技术可以提高铝合金的表面防护装饰性能。为了进一步扩大其应用范围，提 硬度计、x射线衍射仪以及扫描电镜分别测量和分析了薄膜的厚度、硬度、相组成及表面形态。研究发现， 薄膜后在装饰行业将有广泛的应用前景。 [关键词] (Ti。A1，)N薄膜；6063铝合金；磁控溅射；耐磨；耐蚀 [文献标识码]A [中图分类号]TGl74．444 0前言 然后用无水乙醇和丙酮冲洗表面污垢，超声波清洗仪 清洗10min，丙酮清洗，取出用吹风机吹干，放进制备 6063铝合金以其中等强度，良好的抗腐蚀性，抛光 室。 性，阳极氧化着色性，涂漆性，良好的热可塑性和加工 性能，在装饰性铝结构材料中得到广泛的应用¨q1。 流平面磁控溅射系统，溅射靶为高纯度金属钛。靶到 如何进一步提高6063铝合金的抗腐蚀性及耐磨性、扩 衬底的距离约为6cm；预抽真空为5×10～Pa。用氩 大其用途成了广泛关注的问题。(Ti；灿，)N薄膜制备 气作为工作气体，氮气作为反应气体，分别通过质量 工艺成熟，性能优良，其构成相有(Ti¨AI¨)N(fec)， 流量控制器进入制备室。溅射开始前先通入氩气，放 (Ti2A1)N(hep)，(Til．5A1)N(hep)，(Ti3A1)N(CuTi03 电约5min，以清除靶表面的氧化物。然后通入氮气， 结构)4种【5】，当(Ti。m，)N薄膜中T∥Al一3时，薄膜有 氮气流量控制在10sccm左右，氮氩流量比1／5左右。 最高的硬度和最好的耐磨性MJ。这种技术能否用于 通过控制排气阀门来调整制备室内的压强，使压强稳 6063铝合金报道甚少，为此，本研究通过磁控溅射方法 定在0．4Pa。溅射电压250V，溅射电流为0．8 A，溅 在6063铝合金表面镀覆一层(Ti，Al，)N薄膜，以增强 射时间为7min。开始溅射前，将衬底6063铝合金加 6063铝合金的表面硬度和抗腐蚀性，同时对6063铝合 热到120oC。 金表面(Ti。m，)N薄膜的性能进行了分析。 1．2阳极氧化膜的制备 1试验 阳极氧化采用常规的硫酸法处理，电解液为纯水 配制的15％硫酸电解液。氧化工艺参数：温度26℃， 1．1(TixAlY)薄膜的制备 直流电压18V，电流密度1．3A／din2，时间50min。 mm×10mm×5 (1)6063铝合金前处理截取10 1．3膜