高纯电子化学品技术研发现状及必须解决的基本问题.pdfVIP

2009年 10月 　　　　　　　　　　　　　　　　　云南化工 　　　　　　　　　　　　　 　　　　　O ct. 2009 　第 36卷第 5期 　　　　　　　　　　　　Yunnan Chem ical Techno logy　　　　　　　　　　　　　　Vo l. 36,No. 5　 ·专论综述 · 高纯电子化学品技术研发现状及必须解决的基本问题 赵海燕 ,李德高 (云南省化工研究院 ,云南 昆明 650228) 摘 　要 : 　目前电子产业对高纯电子化学品的质量要求非常高 ,其生产技术由国外发达国家垄断 , 国内使用的 高纯电子化学品几乎全部依赖进口。因此 ,必须依靠自己的科研力量进行技术开发 。在技术研发过程中必须解决 一些最基本问题 , 比如没有高投入高精密试验和分析设施 ,不可能开展高纯电子化学品的试验研究。 关键词 : 　高纯电子化学品; 电子级磷酸 ;金属离子 中图分类号 : 　TQ 126. 3 + 5　　文献标识码 : 　A 　　文章编号 : 　1004 - 275X (2009) 　　高纯电子化学品是大规模和超大规模集成电 根据电子产品应用领域和级别不同 ,在工艺 ( ) 路 IC 制作过程中的关键性基础化工材料 ,在清 技术水平和质量控制要求上存在较大差异 ,对高 洗 、光刻 、蚀刻和去胶等许多工序都要使用 , 它的 纯电子化学品质量要求不尽相同。即使同一种电 纯度和洁净度对集成电路的成品率 、电性能及可 子级别的化学品 ,也因产品质量标准不同 ,所采取 靠性有着十分重要的影响 。由于半导体元件越来 的精制提纯方法 、工艺路线也存在较大差异 。因 越小 ,集成度越来越高 ,超大规模集成电路可在 30 此 ,在开展技术研发的过程中 ,首先需对产品质量 mm ×30 mm 的芯片上集成上千万个元件 ,工艺技 标准进行界定 。 术的精密度非常高 ,而且 IC产品更新换代速度极 由于高纯电子化学品生产技术 由德国、日本 快 ,三年即为一代 ,也就是说一代 IC 制作技术需 和美国等少数几个发达国家掌握 ,产品质量标准 要一代的高纯电子化学品与之配套 , 因此对高纯 和分析检测方法鲜见公开报道 。在我们调查的产 电子化学品质量要求越来越高 。 品中 ,美国某企业的高纯电子化学品的控制指标 ( ) 企业 自定 相对较高 ,如表 1。 1　产品质量标准 除表 1所列主要离子以外 ,还对产品色度 、还 关于高纯电子化学品质量标准 , 行业公认的 原物质 、挥发性物质 、不可溶性物质及重金属含量 是由国际半导体设备与材料协会 ( Sem iconductor 等有严格要求 。通常 , 电子化学品生产企业需要 or Equ ipm en t and M aterials In ternation , SEM I )标准 根据终端用户提出的质量标准组织生产 ,对表 1 化组织制定的 SEM I 国际标准 , 该标准中共有 44 中所列离子含量的限定值也不完全相同。如美国 个产品标准 、3 1个导则 ,每个产品标准分别设置 2 J. T. B aker公司 UL SI级别的磷酸要求 F含量小于 [ 1 ] μ μ ～3个不同规格 。电子化学品质量标准中不但