量子级联激光器的发展的研究.pdfVIP

2009 年4 月 长治学院学报 Apr. ,2009 第26 卷 第2 期 Journal of Changzhi University Vol.26,No.2 量子级联激光器的发展研究 王志军 （长治学院电子信息与物理系，山西长治 046011） 摘 要：量子级联激光器已被证明与传统的二极管激光器具有不同的发光原理，它是在子带间跃迁基础上的一种新型 激光器。在理论上量子级联激光器的激射波长可调节性更强，拥有更广泛的应用前景。在近十年的研究中，量子级联激光器 的激射波长已由最初的4.2μm 扩展到可覆盖大部分中红外和部分远红外光谱区域，最近，更实现了在THz 频率范围的激 射。本文主要是对量子级联激光器发明与发展的综合回顾，并对其工作原理和应用作了简要介绍。 关键词：量子级联激光器；子带间跃迁；THz 辐射 中图分类号：O43 文献标识码：A 文章编号：1673- 2014（2009）02- 0019- 04 0 引言 可靠、高功率和高特征温度半导体激光器的实现成为可能。 如上所述，量子级联激光器的重要技术意义在于其波长。波 自1960 年世界上第一台激光器问世以来，已经成功研 长完全取决于量子限制效应，通过调节阱宽可调节激射波 制的满足不同需要的激光器有：固体激光器、半导体激光器、 长。用同种异构材料，可跨越从中红外至次千米波区域很宽 气体激光器、液体激光器、自由电子激光器、X 射线激光器、 的一个光谱范围，其中一部分光谱对于二级管激光器是不易 量子阱激光器、量子级联激光器、孤子激光器等。激光科学技 获得的。量子级联激光器利用源于量子限制效应的分立电子 术的发展，不仅形成许多重要的应用，而且还带动了多种学 状态（图1），相应的能量子带几乎是平行的。结果导致电子发 科的发展。1994 年美国贝尔实验室发明的量子级联激光器[1] 生辐射跃迁至更低子带（例如从n=3 到n=2），所发射的所有光 （Quantum Cascade Laser QCL）开创了具有基础性、战略性、 子有相同的频率υ，能量为hv=E - E ，这里h 是普朗克常量。 前瞻性的半导体激光前沿领域。本文详细介绍了量子级联激 3 2 如果粒子数反转在这些激发态中实现，即可产生激射发光。 光器的工作原理、结构、发展研究等。 量子级联激光器的核心结构是由技术成熟的半导体材 1 量子级联激光器的工作原理及基本结构 料组成的注入区和活跃区（图1），这些与热沉材料正交的纳 米量级厚度的半导体异质结构由分子束外延技术生长，其 与传统的二极管激光器不同，量子级联激光器由量子半 中与热沉材料平行的能量状态形成波浪般的能量分布。以 导体结构构成，基于带结构工程学设计且由分子束外延 [1]