软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备和测量.pdfVIP

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2015-08-06 发布于安徽
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软X射线激光用自支撑Zr滤光膜的制备和测量.pdf

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第卷第期强激光与粒子束 , 18 6 Vol.18No.6 年月 , 2006 6 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Jun.2006 文章编号: ( ) 1001-4322 200606-0953-04 软射线激光用自支撑 X 滤光膜的制备及测量* Zr 张莉, 吴永刚, 曹鸿, 徐垚, 焦宏飞, 陈玲燕 (同济大学精密光学工程技术研究所,上海 ) 200092 摘要: 利用直流磁控溅射方法制备了质量厚度为 · -2 ,直径为的自支撑金属滤光 200 cm 20mm Zr g µ 膜。用同步辐射光源和紫外可见分光光度计分别测量了滤光膜在软射线和可见光波段的透射率,用俄歇电 X 子能谱( )分析了膜中的元素含量。结果表明: 膜在波长的透射率达 ,对可见光的抑制性 AES Zr 13.9nm 19% 能达。杂质、膜层氧化及表面污染是影响滤光膜软射线光谱透射率的主要因素。 43dB X 关键词: ; 射线激光; 滤光膜; 透射率; 直流磁控溅射 Zr X 中图分类号: O434.14 文献标识码: A 射线激光及其在惯性约束聚变( )中的应用是当前研究工作的热点。年,我国在神光高功率 X ICF 2003 -II 激光装置上利用类的射线激光作为探针,采用马赫贞德( )干涉仪在国内首 13.9nm Ni-A X - Mach-Zehnder g [ ]