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软X 射线谱学显微光束线站 1．科学目标 随着科学技术的发展，越来越多的研究领域要求在亚微米、甚至纳米空间尺 度内开展样品的光谱成像研究。因为，这样空间尺度的的异质成分组成以及化学 性质决定了许多重要材料（如多相聚合物材料、生物材料、合成材料等）的宏观 物理化学性质。此外，环境与生物过程经常涉及到微观领域内变化的化学过程。 既存的对化学态灵敏的研究方法，如红外光谱、核磁共振谱无法满足高空间分辨 要求。电子显微术虽具备优异的空间分辨特性，但很难获取样品化学成分信息， 且一般无法适用于含水的或者辐射损伤敏感的样品。软X射线谱学显微光束线站 结合了扫描透射X射线显微术（STXM）的几十个纳米左右的高空间分辨能力和适 用于近边吸收精细结构谱学（NEXAFS）研究的高化学态分辨能力（高能量分辨率）， 与电子显微术、TXM相比样品辐射损伤相对较小，可以在介观尺度研究固体、液 体、软物质（如水凝胶）等多种形态的物质。因此，与其它技术相比具有独特的 优越性，其应用研究已渗透到材料、环境、生物、有机地球化学、陨星等众多学 科领域。 上海光源谱学显微光束线站光源采用 EPU 光源，满足众多用户对偏振可调 性能（线偏振、圆偏振）的需求。该线站将瞄准世界前沿的发展，主要针对人体 健康和生活条件改善等方面，重点开展自然状态下的细胞结构和功能关系，以及 具有一定活性的生物样品的元素空间分布研究。同时还可开展：多相聚合物复合 材料特性研究；蛋白质与人工材料的兼容特性研究；微生物体及微生物-微矿物 相互作用特性；介观尺度污染物的空间分布和化学态分布；组织-金属相互作用 的化学分析；物种形成；固体水溶液及界面特性；磁性材料；新型材料设计等方 面的研究。这些研究将有助于深入理解纳米空间尺度的物质及其相互作用的化学 基础，并以此为基础积极探索如何改善人类环境、健康、以及设计制造新型材料。 2 ．线站主要性能指标 主要参数 设计目标 ● 插入件光源 EPU ● 光子能量范围： 250~2000eV ● 能量分辨本领(E/ΔE) ： 6000 @285eV; 2500 @1840eV 12 ● 空间分辨率： ≤ 50nm 9 ● 光子通量： ~10 (photons/s) 3．实验站配置 ●主体 STXM 显微镜一台（空间分辨率 50nm ） ●快速正比计数管、光电二极管 ●湿样品槽二个（供二维成像和三维成像用） ●工作站一台 ●分析软件：NEXAFS 分析软件、元素成分分析软件、三维图像分析 ●辅助光学平台 ●样品储藏室 ● 氦气 ● 光学显微镜 4 ．基本实验方法 1）光谱显微分析—x,y,E 三维扫描 2 ）形态三维显微成像—x,y,φ三维扫描 3 ）透射软X 射线近边吸收谱分析（NEXAFS 谱） 5 ．实验站应用例 ●X 射线成像 ●透射NEXAFS 分析 ●化学成分成像（Chemical mapping ） ●微细磁畴成像（Magnetic mapping ） ●偏振特性研究 ●三维形态Nano-CT 13