涡旋无油真空泵技术的发展和现状---自平衡多级泵.pdfVIP

涡旋无油真空泵技术的发展与现状 论文摘要：本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状，其内容包括从涡旋技术的发展到涡 旋技术在各行业的应用；从涡旋无油真空泵的原理到涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标； 从世界各国涡旋真空泵的发展到我国涡旋真空泵的发展现状，对涡旋无油真空泵的状况有一个 系统的介绍。1引言涡旋的概念相当久远，20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。但由 于当时技术水平的限制，涡旋机构制造不出来，涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被 重新提起并制造出第一台模型机构，使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运 行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求，大受 行业领先者青睐，迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的涡旋压缩 机技术与产品弓领了世界涡旋技术实用化的浪潮，带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步 和产品的更新换代。今天涡旋技术已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业，实现 了全无油、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。人们应 用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染，并且抽速、寿命、能耗等指 标均优于普通油泵的单级、双级涡旋无油真空泵系列产品。上个世纪90年代初，世界上首台涡 旋真空泵推向市场，涡旋技术由此开始作为一种新型真空获得技术在世界范围内被推广应用。 到目前为止，世界上涡旋真空泵的生产厂家集中在美国、日本和欧洲，以日本的Anest1wata、 美国的Varian、德国的Bush等为代表。产品包括了自0．25L／S-1OL／S系列产品，有些15L／S 或更大抽气量的产品也在试验阶段。2涡旋无油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的特点与应 用领域清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自能够创造真空环境开 始，人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果。时至今日，清洁真空获得设备已经发展到 冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中，涡旋无 油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积小的 特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域：①半导体行业——薄膜制备设备、半导体 器件封装设备；②真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备；③科学仪器 行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；④医疗设备——牙科仪器、透析机； ⑤生物制品行业——材料提纯、药品制备；⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设 备。3涡旋无油真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比涡旋无油真空泵的涡旋盘就 是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘 与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无 油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静 涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排 气循环。众所周知，涡旋无油真空泵(OilfreescrolIvacuumpump)与普通油真空泵相比具有显 著的特点。下面以普通旋片真空泵为例，说明其差别：表1涡旋无油真空泵与普通直联式旋片 真空泵技术指标的对比技术指标旋片式油真空泵涡旋无油真空泵抽速 （l/s）2.0，4.0， 82.0，4.4，8.7极限真空度 （Pa）0.61.0使用寿命 （h）4000040000大修间隔 （h）800010000 冷却介质油空气噪声 （dB）7560质量 （kg）7041电机相数31电压 （V）220/380220功率 （kw） 1.10.6转数 （r/min）140014374涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题4．1涡旋无油 真空泵性能优越涡旋真空泵的主要优点是间隙晓、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的陋力 范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化市连续的，因而驱动扭矩变化 小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。4．2涡旋 无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、 高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工 艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20~40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通 旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工 艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在50