不同基体材料金刚石薄膜涂层刀具附着强度的研究.pdfVIP

维普资讯 2000．2(116) ·3l · 层刀具 研尧 130025 吉林工业大 学机械 工程 系 哈尔滨工业大学机械工程系 袁哲俊 摘要 研 究了基体材料对金刖石薄膜潦层刀具附着强度 的影响。应用燃烙法制备 了基律材料不 同的金刚石 薄膜涂层刀具 ，并进行断续车削实验，根据金刚石薄膜剥落时的耐冲击次数和薄膜剥落面积太小对附着强度进行 了评 价 AllSTRACT Theinfluenceofbasismaterialontheadhesionstrengthofthediamondfilm eoatedtoolshasbeen stud— led Diffrentbasismaterialdiamondfilm coatedtoolshavebeendeveloped．singthecombustionflamemethod．Andinterrupt— edcuttingex— rl3．enthasbeendone Theeorcanentofadhes~．onstrengthwas吾venonthebasesof~．mpactreslstaneetimesand 度 adhesionstreng【th 1f 1 前言 基体材料直接影 响金 剐石薄膜与基体的界面结构 和金剐石薄膜 的热应力 ，是影响 附着强度 的重要 因素 。 本文应用薄膜物理 的理论对不 同基体材料上金刚石薄 膜 的热应力进行 了理论计算 。在此基础上应用燃焰法 制备了基体材料不 同的金 剐石薄膜涂层刀具 ，并应用 断续车削实验法对其附着强度进行 了评价。 2 金刚石薄膜的热应 力及 对附着强度的影响 由于金刚石 的热膨胀系数极小 ，而化学气相沉积 金刚石薄膜所需基体温度较高 ，因此 当基体 由沉积时 图 1 不 同刀具基体材料上全 刚石薄膜 的热应力 的高温降为室温时，金剐石薄膜将承受较大的压缩应 力。薄膜热应力可由下式 “计算 ： 胀系数差别较大 ，所产生 的热应力也较大 ，金剐石薄膜 F 附着强度较低 。实验结果表明在这些基体上沉积金刚 口，= 兰 (n —as)( —T) 【 一 石薄膜后 ，金刚石薄膜 易从基体上剥落。AIO 陶瓷刀 式 中：——薄膜的弹性模量 ； 片 由于导热性较差 ，热膨胀系数大 ，在沉积过程 中基体 y——薄膜 的泊松 比； 极易产生热裂 ，不 易作金 刚石 薄膜 涂层 刀具 的基体 材 n — — 薄膜 的热膨胀系数 ； 料 。图2为用燃焰法在 ALq 基体上沉积金剧石薄膜 OS——基体 的热膨胀系数 ； 时基体和薄膜产生 的热裂纹 。 — — 沉积温度 ；，—— 室温。 SiN 系陶瓷，WC—Co系硬质台金 以及金属 w 的 取金剧石薄膜 的弹性模量 ，泊松 比和热膨胀系数 热膨胀系数与金刚石较为接近 ，产生热应力较小：特 分别为 ：E：900GPa， =0．1，口 =3×1旷 I‘Kl2】 在 别是 SiN 系陶瓷 ，热膨胀系数与金剧石最为接近 ，热 基体表面沉积温度 =8506，室温 T=20C条件下 ， 应力最小 。但燃焰法 由于沉积过程 中