大口径方形非球面镜的高效磨削技术研究.pdfVIP

2011年4月 第2期 金刚石与磨料皤具工程 Apr．2011 第31卷 总第 182期 Diamond AbrasivesEngineering No．2 Vo1．3l Seria1．182 文章编号 ：1006—852X(2011)02—0074—05 大 口径方形非球面镜的高效磨削技术研究 李 洁 雷向阳 钟 波 袁志刚 (成都精密光学工程研究中心，成都 610041) 摘要 本文基于X／Y／Z三直线轴平面磨床，研究 了圆弧砂轮应用于大 口径方形非球面镜的平行磨 削新 技术，介绍了圆弧砂轮平行磨削的机理、重点解决了砂轮形状误差在线检测、元件面形误差在线检测与误 差补偿等关键技术问题。以430mnlX430mm非球面镜为样件，进行了多轮高效精密磨削工艺实验，面 形精度PV均值为4．2txm，表面粗糙度约0．1x／m(RMS)。 关键词 非球面；高效磨削，误差补偿 ，在位测量 中图分类号 TG58 文献标识码 A DOI编码 10．3969／j．issn．1006—852X．2011．02．017 Researchofhighefficiencygrindingtechnology forlargesquareasphericlens LiJio LeiXiangyang ZhongBo YuanZhigang (FineopticalEngineeringResearchCenter，Chengdu610041，China) Abstract BasedonX／Y／Z3一axisgrindingmachine．thearegrindingwheelparallelgrindingtechnologyfor largesquareasphericallenswasdiscussed in thispaper．Themechanism ofarcwheelparallelgrindingwas introduced。thekeyproblems，such ason—linemesurementofrwheelofrm error，on—line mesurementand compensationforworkpieceofrm error，weresolved．Meanresultsrfom manyrunsofhighefficiencyprecision grindingexperiments showed that，the surface ofrm errorand surface roughnessof430 mm x430 mm aspheficallensattainedPV4．2txm andRMS0．1txm respectively． Keywords asphericlens；highefficiencygrinding；errorcompensation；on—linemeasurement 文望远镜 EURO50的米级非球面应用 ，提出了X／Z／C 0 引言 三轴联动加工非球面的技术路线，并研发 了 “BoXg(：” 随着采用非球面镜 的光学系统大规模使用 ，非球 磨削机床，可实现 10h内加工 1m直径非球面精度达 面镜加工方法的研究力度也逐渐加大。由于精密磨削 到 PV值 1Ixm 。 技术在加工硬脆材料非球面镜上具有形状精度高、效 在囝家大型高功率崮体激光装置中，需要大量尺 率高等优点u 7，已被多项大 光学系统 (如 NW、 寸大子+4oomm的高精度、高性能方形光学菲球面镜 KECK、TMT、GMT、EURO50、OWL等)作为主_[岂使 和反射平面镜。就国内目前的非