类金刚石纤维砂轮的开发及其磨削特性.pdfVIP

维普资讯 2003年 12月 金刚石与磨料磨具工程 Dce ．2003 总第 138期 第 6期 Diamond AbrasivesEngineering Seria1．138 No．6 文章编号 ：1006—852X(2003)06—0001—04 类金刚石纤维砂轮 的开发及其磨 削特性 DEVELoP]ⅥENT oF DIA 僵OND．LIKE CARBoN FⅡlRE Ⅵ，I]匝EL AND I，IS GR帅 ING PERFoR NCES 魏源迁。 伍 良生 王新华 ‘李剑锋 ‘山口胜美 (1．北京工业大学机 电学院，北京 100022) (2．日本名古屋大学工学部，名古屋 464—8603) WEIYuangqian WU Liangsheng WANG Xinhua ‘LIJianfeng ‘KatsumiYAMAGUCHI (1．CollegeofMechanicalEngineering，Beijing UniversityofTechnology，Be ng 100022，China) (2．FacultyofEngineering ，NagoyaUniversity，Nagoya464—8603，Japan) 摘要 ：为了获得高精度加工表面 ，最近磨具市场上有一种 Al2 纤维砂轮问世 。该砂轮克服了磨粒砂轮 中磨粒易 于脱落的缺点，但其硬度仍受到一定限制。近十年来 ，由于类金刚石薄膜具有接近金刚石的硬度 、高耐磨性和很低的摩 擦系数等优 良的机械 、物理 、化学和光电特性 ，因而被广泛地应用于精密零部件和涂附刃具 的制造 ]。如果能将类金刚 石薄膜形成类金刚石纤维 ，然后将其代替 纤维作为磨料 ，就可以满足纤维砂轮 的硬度要求。因此，1999年以来 ，El 本山口胜美教授和中国魏源迁教授成功地将类金刚石纤维植入基体并与树脂结合剂结合，开发了一种类金刚石纤维砂 轮 口。]。该砂轮中的类金刚石纤维按同一方向排列且与砂轮磨 削面相垂直，纤维的端部可用作为切 削刃。为 了考察这 种新型砂轮的磨削特性 ，本文作者对难加工材料如模具钢 sKD11及硬脆材料如硅片 、光学玻璃 、石英和大理石进行了大 量的磨削试验 。试验结果表明能获得纳米级加工表面 ，例如被磨硅片和模具钢的表面粗糙度分别为 Ra2肿 (Ry15肿)和 Ra2nm(Ry23nm)。 关键词 ：类金刚石薄膜 ；类金刚石纤维；类金刚石纤维砂轮；纳米加工 ；磨削特性 ；硬脆材料 ；难加工材料 中图分类号：TQ164；TG74 文献标识码 ：A AI】sI瑚d：T0acqlli~supersudaeefinish，Al203fibre~ndingwheelhasbeendeveloped ．Suchfibrewheel咖 overcomethe shortcomingsoffine aiIlswhichareeasilytomloosefromthewheelsLirfaces．However，itshardnessisnotveryhi#．Sincetenyears， diamond-likeB~bonfDEI )coatingshavebeenincreasinglyappliedtothefabricationofprceisioncomponentsandpartsaswellasthe coatde cuttingtoolsduetotheirexcellentmechanical，physical，chemical，electricalandopticalpropertiessuchashighhaFdness，hih