脉冲激光沉积类金刚石薄膜涂层研究.pdfVIP

维普资讯 2一26 脉冲激光沉积类金刚石薄膜涂层研究 ．．．， 丁 口 、 450052 郑州大学基础及应用科学研究所 李运钧 张兵临 薛运才 毕兆琪 — — 一 l／ 230031 中国科学院安徽光学精密机械研究所 龚知本 ^摘要 利用YAG脉冲激光器的355nm和532nm波长制备类金刚石薄膜，采用电极放电 击1采激发激光等离子体出射簇，发现可较好地提高薄膜的红外透过率；薄膜的红外吸收谱中没 有 C—H吸收带 ，具有较好 的全 剐石特性 ；薄膜可作为红外光学元件和有机小型机械 的耐磨涂 层 。 ABSTRACT Diamond—likecarbon (DIC)thinfilmshavebeenpreparedonGeand Si substratesbyYAG laserdepositionatwavelengthsof355nm and 532nm Theuseofahigh DC voltagetoactivatethe plum e generatedfrom thegraphitetargetduringdepositonre suitedingreatlyincreased infrared transm ittanceofthediamond·l·ikethinfilmsincompari—- sion tothetransmittanceoffilmsprepared usingthestandardprocess．TheIR transmission spectraindicatednoapparentC—H absorptionband．Thethin filmsmaybeusedasabrasion— resistantcoatingofIR opticalelementsandsmallsizemachine． ． ．， ， 主题词羔全至苎壁(DLc)竖三上丝 五iPLD)；朱商 诲帻 KEYW ORDS diamond—likecarbonfilm (DLC) pulselaserdeposition(PLD) 类金刚石薄膜 (diamond—likecarbon简 定的动能口+所 以薄膜一般 与衬底具有很好 称 “DLC”)具有硬度高、耐磨、绝缘性好，化学 的附着力，同时激光沉积类金刚薄膜可在搴 性能稳定、耐腐蚀 以及光学性能与金刚石薄 温下进行，可作为有机小型机械的耐磨涂层 。 膜类似，因此称为类金刚石薄膜，类金刚石碳 本文主要讨论在各种条件下制备的类垒 膜作为超硬涂层在机械 、光学领域有很大的 刚石薄膜的 Raman光谱 ，红外透过率 ，分析 应用前景。例如 ，类垒刚石薄膜可做为机械工 采用 电极放 电法来激发激光等离子体出射族 具的耐磨涂层、光学元件的耐磨及增透层 对类金 刚石薄膜特性的影响，同时探讨类垒 近儿年脉冲激光沉积不古氢类垒刚石薄 刚石薄膜作为红外耐磨及增透膜的实际应用 膜’ 得‘到 些‘进展，C．B．collins等得纠 和作为有机小型机械耐磨深层的可能性 。 的类金刚石薄膜的硬度最低 F限为80GPa， 1 实验 比用 CVD方法制备的多晶金刚石薄膜的硬 利用光谱纯石墨做靶子 ，Ge和 si为衬 度还高，说明非晶碳的SP结构在纳米尺度 底 ，经超声处理后放入不锈钢真空室中，如实 上具有的特性 与多晶金刚石的SP。结构有些 验装置 图1所示 ，靶 与衬底间距为 3．5cm．分 不同 同时，利用化学气相沉积 (CVD)，沉积 别