热丝CVD金刚石涂层硬质合金衬底两步法预处理的研究.pdfVIP

2012年 12月 第6期 金刚石与磨料磨具工程 Dee．2012 第32卷 总第 192期 Diamond＆AbrasivesEngineering No．6 Vo1．32 Serial192 热丝 CVD金刚石涂层硬质合金衬底两步法预处理的研究 刘海涛 ， 向道辉 ， 杨广斌 ， 梁 松 ， 马德印 (1．河南理工大学机械与动力工程学院，河南，焦作 454000) (2．湖北中非膨润土有限公司，湖北，鄂州 436061) 摘要 研究了引入超声振动后酸碱两步法预处理对硬质合金衬底表面去co催石墨化作用。采用偏压增 强辅助热丝化学气相沉积(HFCVD)法，在硬质合金衬底上沉积 了一层均匀、光滑的金刚石薄膜。研究结 果表明：在酸碱两步法预处理过程中引入超声振动，能够有效的去除硬质合金衬底表面的co元素，衬底 表面发生了明显的粗化；采用Murakami试剂超声振动20min腐蚀WC相，再用 (H：s0)：V(HO)= 3：7混合溶液超声振动30S去除co相，金刚石薄膜形核密度高、结晶质量好。这说明了超声酸碱两步法 预处理能够有效的抑制钴对金刚石薄膜的不利影响，对提高金刚石薄膜与基体之间的附着力起着非常重 要的作用。 关键词 金刚石薄膜 ；两步法预处理；硬质合金；热丝化学气相沉积法 中图分类号 TQ164；TG74 文献标志码 A 文章编号 1006—852X(2012)06—0025—04 Two--step etchingpretreatmentonW C-CosubstrateforHFCVD deposition LIU Hai-tao ， XIANG Dao-hui， YANG Guang-bin ， LIANG Song ， MA De—yin (1．SchoolofMechanicalandPowerEngineering，HenanPolytechnicUniversity，Jiaozuo454000，Henan，China) (2．HubeiZhongfeiBentoniteCo．，Ltd，Ezhou436061，Hubei，China) Abstract Two—step etching pretreatmentmethod with ultrasonic vibration wasapplied toreduce theCo concentration on the surface ofWC—Co substrate．A layer ofsmooth and homogeneousdiamond film was deposited on the surface ofWC--Co substrate by the bias--enhanced hotfilamentchemicalvapordeposition (HFCVD)method．Thetwo—stepetchingpretreatmentmethodwithultrasonicvibrationcouldeffectivelyremove CoandobviouslygeneratecoarseningonthesurfaceofWC—Co．When usingMurakamireagenttoetchfor20 min，thenusingV(H2SO4)：V(H2O2)=3：7solutiontoremovecobaltofr30S，thenucleationdensityof diamondfilm washigh and the quality ofcrystallization was very good．The two—step etching pretreatment methodwithultrasonicvibrationcan effectivelyinhibittheadverseeffectofCotodiamond film ，andplaysan importantroleinincreasingtheadhesionstrengthbetweendiamondfil