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金属学与金属工艺
维普资讯
2004年 2月 金刚石与磨料磨具工程 Feb．2004
总第 139期 第 l期 Diamond＆ AbrasivesEngineering Seria1．139 No
． 1
文章编号：1006—852x(2004)01—0041—04
热丝法气相沉积金刚石薄膜的影响因素
HOT—FILAMENT—CI~ ．M ICAL．VAPOR—DEPOSITED DIAMOND FILM
AND n’S姗 砸 CE FACTORS
李建国 刘 实 李依依 胡东平 李 军 周德惠
(1．中国科学院金属研究所，辽宁省沈阳市 l10016)
(2．中国工程物理研究院，四川省绵阳市919信箱401分箱 621900)
LiJianguo’ LiuShi LiYiyi HuDongping2 LiJun2 ZhouDehui~
(1．InstituteofMetalResearch， ChineseA∞ 州 ofSciences，Shenytmg110016．Ch／na)
(2．Ch／naA∞如 ofEngineeringPhysics，P．0．Box919—40l，Mianyan621900，Odila)
摘要：由于热丝法气相沉积金刚石薄膜成膜质量好 、设备简单 、成本低而得到广泛应用。本文探求了工具上应用最
广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理，并着重讨论了在该系统中影响金刚石薄膜质量的几个因素：预处
理技术、碳源浓度、温度和气压 ，在金刚石的形核时期和生长时期这些因素的作用是不同的，同时这些因素又相互影响。
根据影响因素制定出了最优的工艺参数 ，最后在硬质合金上得到了均匀而致密的金刚石薄膜 ，经 XPd)分析 ，由 111)和
(220)晶面组成 ，主要是(1l1)面，晶粒尺寸平均为 113．5rim，这些探索为金刚石沉积技术在工具上的大规模应用打下了基
础 。 。
关键词：热丝化学气相沉积；金刚石薄膜 ；影响因素；硬质合金
中图分类号：TQl64 文献标识码 ：A
Al ：Hotfliamentchemicalvapordeposition(HFCVD)isusedwidelyinindustryduetoitshi qu曲 ， eqIIiplnellt
锄fldlowcost．ThegrowthprincipleofdiamondfilmsOilearboloymetalbyHFCVDw舾l introducedinthispaper．Itisobservedthatmany
factors，suchasthepretreatmenttechnology，me thaneCOliCelitl~dtioli，temperature 田1dpressurein the 卿t0，intluenestronglythe
qLIalityofdiamond flim．Effectsofhtesefactorsa differentbetweenthenucleationperiodandthe m period，and thesefactors
influenceeachother．BasedOlitheseconsiderations．hteb
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