二氧化硅增透膜微观结构激光损伤阈值调控.pdfVIP

第24卷第7期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．24，No．7 2012年7月 HIGHPOWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jul．，2012 文章编号： 1001—4322(2012)07—1745—04 二氧化硅增透膜微观结构与激光损伤阈值的调控。 晏良宏， 吕海兵， 严鸿维， 赵松楠， 王 韬， 李熙斌， 王海军， 袁晓东 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 摘要： 采用溶胶一凝胶技术制备了二氧化硅增透膜，通过向溶胶中添加高分子聚乙烯醇缩丁醛(PVB)， 调控胶体的粒径，进而控制膜层微观结构，研究膜层微观结构与激光损伤阈值的关系。纳米粒度仪和扫描探针 显微镜测试表明：PVB加入溶胶后，控制了二氧化硅胶粒的生长，使二氧化硅胶粒生长更均匀，因而膜层的微 观结构更均匀。当PVB质量分数为l％时，胶体粒径为15nm，分散系数小于0．1。用该胶体镀膜，膜层均匀， 表面粗糙度小于3．25rim。并且PVB加人后增加了膜层胶粒间的黏附性，使得膜层强度增大。PVB加入使膜 J／cm2增加到 层的激光损伤阈值有所增加。当PVB的添加量为1％时，膜层的激光损失阈值从30．0 40．1 J／cm2。膜层激光损伤阈值的增加与膜层微观均匀性和物理强度的增加有关。 关键词： 二氧化硅增透膜； 激光损伤阈值； 微观结构； 溶胶一凝胶 中图分类号： 0484 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP1745 增透膜能够增加光的透射，减少光的反射损失，因此广泛地应用于高功率固体激光器等领域[1。3]。在高功 率固体激光器中，主要采用的是溶胶一凝胶制备的二氧化硅增透膜。这种膜具有极高的激光损伤阈值，折射率 低，透过率高，制备方便，因此备受青睐[4_9]。但是，溶胶一凝胶二氧化硅增透膜也有不足，其环境稳定性差，使用 寿命短E10]。为了提高膜层的环境稳定性，各种功能化的二氧化硅增透膜得到了研究。在已有的研究中，我们 发现在溶胶中加入少量的高聚物聚乙烯醇缩丁醛(PVB)能显著提高膜层的环境稳定性，在高功率固体激光器 上具有潜在的应用价值口1I。由于激光损伤阈值是高功率固体激光器应用的一个重要指标，因此本文主要研究 PVB对二氧化硅微观结构的调控和对激光损伤阈值的影响。 1 实验部分 采用溶胶一凝胶技术制备二氧化硅溶胶，往胶体中加入少量PVB，PVB的质量分数分别为0％，0．2％， 化14d镀膜。采用提拉法在熔石英基片上镀膜，膜层在160℃下干燥8 和F20。膜层折射率由椭偏仪测量(Sentech 貌由原子力显微镜观察(XE一100，PSIA)；溶胶粒径由纳米粒度仪测量(Nano—ZSMalvern)；激光损伤阈值 (LIDT)由实验室激光损伤阈值测量平台测量。 、 2结果与讨论 2．1膜层折射率与孔隙率的调控 膜层的孑L隙率影响膜层的折射率，孑L隙率越大，折射率越低[121；在溶胶中加入PVB后，可以调节膜层的孑L 折射率反而降低，对应的孔隙率提高。 2．2膜层的激光损伤阈值 053nm 众所周知，溶胶一凝胶法制备的二氧化硅膜层具有很高的激光损伤阈值(LIDT)。图2为膜层在1 37．2，40．1，38．1，35．1J／cm2。通过加入PVB，膜层的激光损伤阈值可从30．0J／cm2增加到40．1J／cm2，然后 降低到35．1 修订日期：2012—02—05 *收稿日期：2011—11-23； 基金项目：中国工程物理研究院激光聚变研究中心和等离子体国家重点实验室创新基金项目 作者简介：晏良宏(1982一)，男，助理研究员，主要从事高功率固体激光器光学薄膜的制备和研究；yanlianghong@126．corn。 氧化硅粘结剂，加人后可以适当提高膜层的机械强度。溶胶凝胶法制备的二氧化硅麒层是从有机物制备得到 的无机二氧化硅膜层，因