平板双光束干涉.ppt

(5) 测量微小位移 例 在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？ 例 用等厚干涉法测细丝的直径d。取两块表面平整的玻璃板，左边棱迭合在一起，将待测细丝塞到右棱边间隙处，形成一空气劈尖。用波长?0的单色光垂直照射，得等厚干涉条纹，测得相邻明纹间距为?L，玻璃板长L0，求细丝的直径。 解：相邻明纹的高度差 ? d ? ? ? 解： M N 相邻暗纹间的膜厚之差 明、暗纹间的膜厚之差 故： ? 例 利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工 件表面存在的极小的加工纹路， 在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃，使其间形成空气劈形膜，用单色光照射玻璃表面，并在显微镜下观察到干涉条纹，如图所示，试 a b ?h b a ?h dk-1 dk 根据干涉条纹的弯曲方向，判断工件表面是凹的还是凸的；并证明凹凸深度可用下式求得 ： 解：工件表面是下凹的，如图所示。 由图中相似直角三角形可: 所以: a b ?h b a ?h hk-1 hk 二 牛顿环 由一块平板玻璃和一平凸透镜组成 形成空气劈尖。 1 牛顿环实验装置 牛顿环干涉图样 显微镜 S L M半透半反镜 T 2 反射光光程差及条纹 e A 1 2 e 空气劈尖 n=1 明纹 暗纹 h相同 相同 在同一级干涉条纹上 等厚干涉 e e R r e 暗环半径 明环半径 牛顿环的半径 暗环半径 明环半径 讨论 1 、从反射光中观测，中心点是暗点还是亮点？ 中心处h=0 k=0，形成暗点 由半波损失造成的 2、干涉花样： k=0，r =0 中心是暗斑 以接触点为中心的明暗相间的同心圆环。 第一级明环 第一级暗环 k越大，相邻明（暗）环之间的间距越小，条纹的分布是不均匀的。 第一级明环 第一级暗环 第二级明环 第二级暗环 第三级明环 第三级暗环 …… 问题：属于等厚干涉，条纹间距不等，为什么？ 答：厚度非线性增长条纹不等间距 厚度线性增长条纹等间距 牛顿环干涉是一系列明暗相间的、内疏外密的同心圆环。 3、牛顿环的半径 问题：将牛顿环置于 的液体中，条纹如何变？ 暗环半径 明环半径 （n为劈尖膜的折射率） 所以：条纹变密，间距变小 4、从明暗环半径分析条纹的特点 (1)与平行平面膜干涉圆环作对比 等倾干涉 小 大 中心条纹级次高 入射光线不变，h增大，环中心处有圆环冒出 h减小，环中心处有圆环吞入 (2)牛顿环 中心处 h 小 中心条纹级次低，内疏外密 5、干涉条纹的变化 (1)曲率半径R变小，干涉条纹变密集，中心处没有移动 (2)平凸透镜向上移动时，中心处有圆环吞入 平凸透镜向下移动时，中心处有圆环冒出 (3)对空气层平移 的距离时，有一条条纹吞（吐） 向上平移 ，吞入一条条纹 向下平移 ，吐出一条条纹 6、应用 (1)在实验室中，可以用来测量透镜的曲率半径和光波波长 暗环半径 若已知λ，可求出R; 若已知R ，可求出λ rk和rk+m可以测量 * * 薄膜干涉——分振幅法得相干光 利用透明薄膜的两个表面对入射光的反射，把入射光的振幅分解为两部分，获得相干光。 这两部分光相遇产生的干涉叫薄膜干涉。 平行平面膜干涉 劈形膜干涉 劈尖的棱 P L 一 平行平面膜的干涉 D C 3 4 E 5 A 1 B 2 折射定律： P L D C 3 4 E 5 A 1 B 2 反射光的光程差 加 强（明纹） 减 弱（暗纹） 根据具体情况而定 注意：当薄膜处于同一介质中，光在其上、下表面反射时物理性质必相反，有半波损失现象，故两束反射光相遇时有额外光程差—— 独立膜一定存在半波损失 透射光的光程差 注意：透射光和反射光干涉具有互 补 性 ，符合能量守恒定律. 讨论： （1）当光线垂直入射时 （2）透射光(无半波损失) 透射光与反射光相差 。 P L D C 3 4 A 1 B 2 （3）若薄膜（n2）处于两种介质（n1、n3）中，什么 情况下出现半波损失？ 2 3 光线2、3都有半波损失 光线2、3都没有半波损失 光线2有半波损失 光线3没有半波损失 光线2没有半波损失 光线3有半波损失 1） 2） 3） 4） 1 要考虑半波损失 当： 结论：若薄膜（n2）处于两种介质（n1、n3）中，当介质折射率依次增加（减小）时，反射光不考虑半波损失