精确测量透明介质膜片折射率的一种方法.pdfVIP

维普资讯 第 20卷 第 1期 东北重型机械学院学报 VoL20 No 1 1996年 3月 JournalofNortheastHea~T M achinery Institute M ar 1996 精确测量透明介质膜片折射率的一种方法 张述礼 呼文来 7 z 。 J＼ (基础部 ) r、 、摘 要 激光束经透明介质膜片反射后产生散射条纹分布．通过测量 3条相邻条纹散射 角可汁算出测量膜片的6-~8a 本文推导出了其汁算公式及测量误差公式．给出了实验结 果．实验表明该方法的测量精度较高 ． 一 关锎 ． 、罂 盟兰j叶宣 分类号 · )r——、一 ，，一 1— 0 引言 厚度小于微米量级的光学薄膜参数的测量，目前已有许多方法．并达到了很高的精 度．但对于厚度为微米至几十微米量级的光学介质膜片光学参数的精确测量方法 尚不多 见[1J_然而此种膜片目前愈来愈多地应用于各种行业中．本文介绍用激光束在透明介质膜 片中的散射效应．通过对反射 (或透射 )散射条纹的测量，可精确测 出膜片的折射率 ． 1 基本原理 当一束激光 小的掠射角人射到透 明介质膜 片时 由于光在介质表面的散射12j．其反射场除 有一条明亮中心亮斑外，在附近的区域 内也旱现 出清晰的散射干涉条纹 ． 反射情况下的光路如图 l所示． 8为介 ＼!／ ： 质膜上、下表面反射后的光线； ，sB为经介质膜 片上、下表面散射后的出射光线，s． 相互迭加 图 1 反射散射光路示意图 产生明条纹的条件是t： d[(n2-cos )’／+(n2-COS日)’／1= + )Z 式中 ——介质膜片的折射率 d——膜片的厚度 0——掠射角 ——入射光波的波长 ￡——干涉条纹的级数 A——介质表面的相移常数 根据式 (1)，对任意3条相邻的明条纹可写出： d【(月一COSdI)／+(n一COS口)，]=(L+ ) (2) [ 一COS ，)／+(一COS )，]=(L+ )i+ (3) 【(一COS。 )，+(一COS 臼)，]=(L+ )z+2五 (4) 联立求解式 (2)～ (4)．得： 1992年 3月 27日收到 维普资讯 第 1期 张述礼 等 精确测量透明介质膜片折射率的一种方法 85 (c~s2~3-c~s26t)2 ”= cos 62+ — (5) L 8(2cos ，一COS 一COS 1)J 从式 (5)可见．透明介质膜片折射率的测量转化为角度的测量．只要精确测 出3条相 邻 明条纹所对j立的散射角．即可求出折射率 ． 2 实验结果 实验光路如图 2所示 ；L为 He—Ne激光 器．P为偏光镜、S1．s2为4,Y：L光阑．S为待 测的透明膜片．M 为测角仪的分度盘．N 为 狭缝，与探测器 D 固定在一起 ．可治垂直于反 射光方 向扫描 ． 实验采用的是耐热绝缘的透 明塑料膜片， 测量时偏光镜的透偏振方向与人射面正交．掠 射角 o=lO ．测角