二维FDTD法互连线分析的非均匀网格实现.pdfVIP

第32 卷 第4 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.32 No.4 2003 年8 月 Journal of UEST of China Aug. 2003 二维FDTD法互连线分析的非均匀网格实现* ** 邵 维 王秉中 ( 电子科技大学物理电子学院 成都 610054) 【摘要】用二维时域有限差分法计算高速集成电路有耗互连线频变参数时，如采用均匀细网格划分整个仿真 空间，微米级的互连线结构和趋肤深度会导致计算机内存空间占用太大，计算速度很低。基于此，该文提出一种 结合理想电壁截断边界条件的渐变非均匀网格划分技术，其优点是简单方便，编程计算极易实现，并且可以在保 证计算精度的前提下明显提高电磁仿真的效率。 关 键 词 二维时域有限差分法; 互连线; 渐变非均匀网格; 趋肤深度 中图分类号 TN929.5 文献标识码 A 2D Graded-Mesh FDTD Algorithm for Interconnects Analysis Shao Wei Wang Bingzhong (School of Physical Electronics, UEST of China Chengdu 610054) Abstract The traditional FDTD discretization of Maxwell equations in which all cells are equal is proved not to be efficient in many cases. In order to conform to fine scale geometric details of interconnects without increasing the overall mesh size and without losing computational accuracy, graded mesh technique combined with perfectly electric conducting boundary in 2D FDTD algorithm is proposed in this paper. Numerical experiments verify its accuracy and efficiency. Key words 2D finite-difference time-domain algorithm; interconnects; graded mesh; skin depth 自文献[1]提出时域有限差分(Finite-Difference Time-Domain, FDTD)法的基本原理以来，至今已是最重要 的电磁场数值方法之一。FDTD法直接从Maxwell旋度方程出发，用差分原理将其转换为差分方程组，在一 定体积内和一段时间上对连续电磁场的数据取样，是最本质的数值模拟，具有非常广泛的适用性。 FDTD法的发展和应用是与现代高速大容量计算机和计算科学的发展密不可分的，因为这种有多个变量 的偏微分方程组的计算需要很大的内存空间和很长的计算时间。近年来，降维方法、非均匀网格技术和交 变隐式差分方向技术的发展大大提高了FDTD法的计算效率。本文主要讨论非均匀渐变网格划分技术在二维 FDTD法提取互连线频变参数中的应用。 1 有耗传输线的二维FDTD算法 采用二维FDTD法分析均匀传输线是一种高效的方法，其基本思想是：对Maxwell方程中场分量关于传 输方向的偏导数作解析处理，数值差分只在与传输方向垂直的平面内进行。图1是