薄膜温度传感器有研制及应用.pdfVIP

维普资讯 建所三十周年科技论文选 编 薄膜温度传感器的研制及应用 安保台 摘 要 本文介绍了 一种新型的薄膜温度传感器。这种俸感器采 用真空镀膜方语制 作在涡轮叶片’表面，直接测取叶片表面温度。传感器的质量小．响应快，对叶 片的 内部换 热和表面燃气流无干扰。 伟感器的敏感元件为铕谱一铂 热电偶．测量温度上 限可达IGO0℃．攫I量精 度=3‰ I 引言 涡轮叶片 的表面温度测量通常采用等离子喷浩埋 设套管热 电偶 的方法。喷涂前，热 电偶嵌入到在叶片表面机械切割 出的凹槽 内，然后在叶片表面喷涂一层厚度为0．2—0．3m 的镍铬包硅藻土层。这种方法存在着很大的缺点 一是被测点位置不准确， 一是开槽破 坏 了叶片 内部的换热通道，因而使测量结果 的可靠性大大降低 其偏差值可达数 }度2 多。 一 种直接安装在 叶片表 面而不需去除其表面材料 的薄膜 温度传感器在最近 十 多年 来 迅速发展起来。这项 技术一改过去的以丝状或块状材料为传感器 的敏感元件 的传统、 应 用真空镀膜技术 (如离子镀、真空蒸发．真空溅射等)把传感器直接镀制在叶片表面上、 侍感器本身不干扰叶片 的内部换热 电不影响叶片表面的燃气流。 薄膜温度传感器 的敏 感元件制成热 电偶彤式，所 以这利-传感器又可称为薄膜热 电鸺 热 电偶材料为铂铑和铂，膜厚为几个微米。这种先进 的制造 方法和所选用材科相结 台． 可以使薄膜热 电偶能承受 高达l000℃ 的环 境温度 传感器与被测叶片连成一体的结构形式比粘贴薄膜传感器 的形式具有更大的优越琏 它避免 了测量位置不准确 蠕变．滞后等弊端 。 薄膜传感器 的研制工作包括传感器的结构设计、薄膜制造程序和镀膜最佳参数 的选 择，薄膜粘接力 的改进 以及薄膜传感器的性能测试 等。 2 薄膜温度传感器的技术探讨 2．1 薄膜传感器 的结构特点 薄膜传感器由三层薄膜构成，即中间台金膜 介质膜和墁}!量膜 前二种膜构成测量 膜与叶片基体之间的电气绝缘 ，而测量膜构成传感器 的敏感元件 其结构削面如图 l所 示。 图中的中间台金膜直接沉积在涡轮叶片表面，这种 台金与涡轮 叶片材料成分相近 ． 本文~1991晕1月i9日收到 维普资讯 建所三十周年科技论文选编 结台面如 图中A所 、 两者 司 以部分化 台结合 ，经过热 处理 ， 膜 与叶片接触处的界丽上相 互扩 接 散和同相溶解，从而增强 r膜与 基体的结合 力 与此 同时在膜 的 表 面会形bl蔓 一A1203膜 这层膜 的厚度仅 为数 百或数千埃 在这 层膜 上 f如图中B)另外沉积 。层 A1203介质膜．厚度为2 m 。由 图 1 薄膜热 电偶结构示意围 于两者性质相近，成分相同．结 台是牢固的。界面C是A1203与测量膜的结台面。测量膜用贵金属铂铑lO和铂制雎， 这 两种金属与A1203膜不能形成化学键合 为了获得附着力，采用真空涨射镀膜的方法、 使金属 以较大的能量机械地畿入到较为粗糙 的表面上，两者形成物理性质的结合 2．2 j羁量膜材料的选择 薄膜热 电偶 的测量膜 和引线的材料选择 贵金属铂锗lO稻铂，这是 由禳I量温度 上限决 定 的 另一方面铂锗lO稻铂这 两种材 料是所 有常规热电偶材料 中成分 最简单的．这就减 少 了镀膜时 由于镀膜材料成分偏析而 引起热 电偶电动势偏离标准分度值。热 电性能待台