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中国科学院博士学位论文:快速控制反射镜结构及其动态特性的研究 次镜 发射、接收 来自发射装置 图1.3复合轴结构 Fig1.3Structureofcompoundaxial 图1.3所示的子轴反射镜也称快速控制反射镜 (Fast-SteeringMirrors)是近几年 发展起来的一种精密跟踪技术，与大惯量机架结构的主系统共同构成复合轴跟踪系 统，在各种光学系统中用于精密跟踪瞄准和稳定光束。由于其结构有行程小但精度 高、响应速度快、动态滞后误差小等优点，弥补了主轴系统的不足，两者作用合成， 便可实现大范围的快速高精度跟踪。 1.4国内外几种FSM13_l 目前FSM，其结构形式主要分为两种，一种为X-Y轴框架形式，也称 为有轴系结构，其结构如图1.4所示。 图1.4X-Y框架结构复合轴 Fig1.4X一YFrameStructureofcompoundaxial 中国科学院博士学位论文:快速控制反射镜结构及其动态特性的研究 另外一种称为柔性轴形式，或者称为无轴系形式。其特点是:没有机械 轴承，限制运动物体 6个自由度中的位移 自由度，但使某几个角度具有很好 的柔性，而且该结构没有摩擦力矩，例如图15所示 pivotpoint 图1.5 一种柔性轴反射镜 Fig1.5 AKindofFSMwithFlexureAxial 国外研制状况，在 1991年 SPIE国际光学应用科学和工程讨论会上，报 道了一些快速控制反射镜及相应的驱动器如表 1.1所示 表 1.1快速控制反射镜性能参数 Tab1.1PerformancecharacterofFSM 制作单位 反射镜直径 倾斜角 带宽 驱动器 PI 4英寸 1.3KHz 压电陶瓷 PI 8.3英寸 1150微弧度 300Hz 压电陶瓷 BallAerospace 5英寸 187微弧度 600Hz 磁致伸缩材料 LincolnLab 6毫米 85毫弧度 1.1KHz 音圈电机 HughesDanbury 45毫米 250毫弧度 150Hz 音圈电机 HughesDanbury 45毫米 15毫弧度 500Hz 音圈电机 从报道上看FSM反射镜口径从6mm-200mm都有。相应的驱动器有压电 陶瓷，音圈电机，稀土磁致伸缩材料。对转角范围较小的采用压电陶瓷(PZT), 对转角范围较大的采用音圈电机。 中国科学院博士学位论文:快速控制反射镜结构及其动态特性的研究 由于用途的不同要求也有不同。如Lincolnlab研制的怀mm口径的快速控制反 射镜。其反射镜支承在一个由柔性环与柔性系统上。四个音圈电机驱动绕X-Y轴的 两维转角运动。位置检测元件为非接触式电感位移传感器，(精度为。.05l.Im)。转角 范围为145. 欧洲南方天文台(ESO)的望远镜使用4inch(}100mm)的FSM装置。其反射镜 安装在一个十字交叉的柔性轴上。两维转角运动靠两个压电驱动器驱动。由于反射 镜质量较大还考虑设计了一个反作用力补偿装置，方法是在正向驱动器的位置处安 装一个反向驱动器，以相同的差动方式驱动一个在反射镜后面的悬挂质量块。用以 消除因驱动力过大在望远镜底盘上产生的谐振。位置检测元件为4个900均布在反 射镜后面的电容式非