表面处理对阳极氧化铝模板光发射性质的影响.pdfVIP

表面处理对阳极氧化铝模板光发射性质的影响／徐大印等 ·351 · 表面处理对阳极氧化铝模板光发射性质的影响 徐大印 ，何志巍 ，王文海 ，张道明 ，吴现成 (1 烟台大学光电学院，烟台264005；2 中国农业大学理学院物理系，北京 100083) 摘要 阳极氧化铝模板是一种得到广泛研究和应用的重要模板物质。针对阳极氧化铝模板的光致发光起源 问题进行了探讨，主要研究了表面因素是否对阳极氧化铝的发光有影响，以及如何影响的问题。利用二次阳极氧化 法制备 了阳极氧化铝模板，之后利用氩离子轰击氧化铝模板的表面，在室温下测定 了氩离子处理后的氧化铝模板的 发光特性，研 究了氩离子轰击前后氧化铝模板的光致发光性质变化和氩离子轰击对氧化铝模板光发射性能的影响。 结果表明，表面因素对阳极氧化铝模板的发光有重要影响。 关键词 阳极氧化 氧化铝模板 光致发光 TheInfluenceofSurfaceTreatmenton thePhotoluminescenceofAnodic Aluminum Oxide XU Dayin ，HEZhiwei，WANG W enhai，ZHANG Daoming ，WU Xiancheng (1 DepartmentofPhysics，YantaiUniversity，Yantai264005；2 De partmentofPhysics，ChinaAgriculturalUniversity， Beijing100083) Abstract Anodicaluminumoxideisoneoftheimportanttemplates，andiswidelystudiedandused．Theorigin ofphotoluminescencefrom anodicaluminum oxidewasdiscussed·andtheinflueneeofsurfacefactorswasmainlystu- died．Two-stepmethodwasusedtoprepareanodicaluminumoxidetemplate，thenthesamplesweretreatedbyargon plasmasputteringforvariousdurations．Thepropertiesoftheanodiealuminumoxidetemplatewerestudiedbeforeand aftersputtered，andtheinfluenceofthesurfacetreatmentonthephotoluminescence．Itisfoundthatthesurfacefac— torsstronglyaffectthephotoluminescenceofanodicaluminum oxide． Keywords anodicoxidation，almu inum oxidetemplates，photolmu inescence 液中制备的AA0模板及其退火处理后的光致发光行为，认 0 引言 为PL的产生是由于制备和处理过程中产生的顺磁性氧空位 阳极氧化铝(AAO)模板是一种常用的模板物质，在现代 中心造成的。2003年G．S．Huang等[7]研究 AAO模板和 Si 纳米材料和技术中有着广泛的研究和应用[1]。自从 1997 基AAO模板的发光问题，认为PL来源于两种不同顺磁性 年H．Masuda和K．Fukuda[43利用二次氧化法制备出高度 氧空位中心F(氧空位带有两个电子)和F (氧空位带有一个 有序、孔洞形状规则的多孔阳极氧化铝以后，人们开始利用 电子)。这些研究部分解释了AAO模板的光致发光起源问 多孔阳极氧化铝制备规则排