超高硬度纳米复合薄膜Ti—Si—N结构的研究进展.pdfVIP

· 94 · 材料导报 2012年 l1月第 26卷专辑 2O 超高硬度纳米复合薄膜 Ti—Si—N结构的研究进展 任 元，刘学杰，谭 心，郭金鸽 ，孙士阳 (内蒙古科技大学机械T程学院，包头 014010) 摘要 综述了Ti-SiN超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展。介绍了研究者对si原子在Ti—si—N中形成的 晶界是否为晶态的认识与研究，阐述了si原子在Ti—Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Tisi—N薄膜沉 积过程中的形成机制，并展望了Ti—si—N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向。 关键词 Ti—Si—N薄膜 纳米复合结构 界面结构 ResearchProgressontheSuperHardNanoCompositeFilmsofTi--Si_-N Structure RENYuan，LIUXuejie，TANXin，GUOJinge，SUNShiyang (SchoolofMechanicalEngineering。InnerMongoliaUniversityofScience Technology，Baotou014010) Abstract TheresearchdevelopmentofthesuperhardnanocompositeTi-Si-N coatingstructureisreviewed． ThecrystallineoramorphousofSiinTi—Si—N coatingisintroduced．Therecentstudiesofinter{acesstructureinTi—Si N coatingandtheformationmechanism ofTi—Si—N aresummarized．Basedonthesummary，researchdirectionofllano compositeTi—Si—N coatinginthefutureareprospected． Keywords Ti—SiN coating，nanocompositestructure，interfacestructure 0 引言 了研究者对其考察的逐步深入化、细致化。 1 Ti—Si—N纳米复合薄膜结构 对于纳米复合结构导致超硬性能的研究中，一个重要 的 研究方向为李世直教授所发现的TiN／Si。N 超高硬度复合 Ti—Si—N是针对具有面心立方结构 的TiN加 Si粒子形 薄膜_】]，即为B1一NaC1结构的Ti族、V族氮化物中掺杂其他 成Ti—Si—N超硬复合薄膜的研究，其始于我国的李世直教授， 元素形成纳米复合结构的超高硬度表面。在 2000年，Ve— 在这方面众多学者多年研究的焦点主要集中于 Si粒子在 prek等Ce,a]报道了获得 8O～105GPa超高硬度的Ti—Si—N纳 TiN中的固溶形式，即Si在 TiN边界所形成的晶界结构形 米复合薄膜，该硬度值达到了金刚石的硬度(70～l1OGPa)； 式及状态 。1992年李世直等口通过 XRD、SEM和XPS对采 由此，该薄膜被研究者称作具有超高硬度的 “Ti—Si—N纳米复 用等离子化学气相沉积法制备的Ti—Si—N超硬薄膜进行检 合薄膜”，这一结果激发了该方面的研究热情l4]。 测 ；XRD结果显示 TiN(200)和 (1l1)相明显，但并无 SN 研究者对 Ti—Si—N超硬纳米复合薄膜结构的表示形式各 相；通过 XPS检测了Si。N 和自由Si粒子的结合能(Binding 不相同，不同的表示形式代表了他们对 Ti—Si—N结构研究所 energy)，Si含量在 10 ～15 (原子分数)，薄膜硬度达到 得出的结论 ，而 Ti—si—N仅是一种简单粗略的表达形式 。最 63．