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材料导报
·366 · 材料导报 2008年 l2月第 22卷专辑Ⅻ
化学溶液沉积法制备涂层导体阻隔层用
钨盐前驱体 的制备和筛选
杨伟波 ,张国防 ,马高峰 ,李成山。,阎 果 ,卢亚锋
(1 陕西师范大学化学与材料科学学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室,西安 710062;
2 西北有色金属研究院,西安 710016)
摘要 制备 了E(n—c4H )N]2[w60。]、过氧钨酸衍生物 (APTA)和[(C8H1)zNH。]2[W4O。]3种有机钨
盐,研究了这几种盐在不同溶剂中的溶解性、溶液的稳定性以及在钇稳定氧化锆(YSZ)基片上的润湿性。研究发现:
[(C8H )zNHz]z[w O1s]在丙酸中具有溶解性良好、溶液稳定性高及润湿性好的特点,而且与其它金属盐前驱体
在丙酸中的配伍性好。因此,选择 E(n— H )zNH2]2[wtO。]作为钨盐的前驱体,使我们尝试用化学溶液沉积法制
备涂层导体的钨基双钙钛矿薄膜阻隔层成为可能。
关键词 涂层导体阻隔层 化学溶液沉积法 钨盐前驱体 制备 筛选
中图分类号:0482.5
PreparationandScreeningofTungsten—basedPrecursorsforBufferLayers ofCoated
ConductorsbyChemicalSolutionDeposition
YANGW eibo ,ZHANG Guofang ,MA Gaofeng ,LIChengshan ,YAN Guo ,LU Yafengz
(1 KeyLaboratoryofAppliedSurfaceandColloidChemistryofMinistryofEducation,SchoolofChemistryand
MaterialsSc ience,ShaanxiNormalUniversity,Xi’an710062;2 NorthwestInstitute
forNonferrousMetalResearch.Xi’an7】O0]6)
Abstract Noeffortsconcerningthepreparationoftungsten-baseddouble-perovskitefilmshasbeendevoted
uptodate.Inthispaperthreetungstates,[(—C4H9)4N]2[ 019],tungsten-basedpolyoxometallatecomplex(APTA)
and[(—C8H17)2NH2]2[w40l3],arepreparedandtheirsolubilityandstabilityincommonsolventsaswellasthewet—
tabilityofthesolutionsonYSZsinglecrystalsubstanceareinvestigated.TheresultsshowthatinpropionicacidE(n—
C8Hl7)2NH2]2[W40l3]hasgoodsolubility,highstability,satisfactorywettabilityonYSZandgoodcompatibilitywith
otherprecursors.Thetungstate[(—C8Hl7)2NH2]2[W4013]isthereforeanidealtungsten-basedprecursoranditis
possibleforustopreparetungsten-baseddoubleperovskitebufferlayersforcoatedconductorbychemicalsolutionde-
po sition.
Keywords bufferlayersofcoatedconductor,chemic
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