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2015-08-17 发布于重庆
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薄膜材料技术与物理1.pdf

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1.1 真空的基本概念 1.1.1 真空的定义第一章真空技术压力低于一个大气压的任何气态空间气体处于平衡时，气体状态方程 P = nkT 3 -23 许多薄膜技术是在真空下实现的， P：压强（Pa），n：气体分子密度（个/m ），k：玻尔兹曼常数（1.38×10 J/K） 3 V：体积（m ），m：气体质量（kg），M：分子量（kg/mol） 23 R：气体普适常数，T：绝对温度（K），R=N ·k，N ：阿佛伽德罗常数（6.023×10 /mol） “真空”是许多薄膜制备的必要条件，因 A A 3 （个/m） 19 3 此，掌握一定的真空知识是必需的。