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过硫酸盐_硫酸体系微蚀性能的研究.pdf
过硫酸盐／硫酸体系微蚀性能的研究
杨焰。李德良，陈茜文，罗洁
(中南林业科技大学，湖南长沙410004)
[摘要]为研究过硫酸盐／硫酸体系微蚀的最佳工艺条件，通过静态腐蚀速率测定法，对该体系的微蚀液组成和操作温度等
硫酸的体积分数为2％～4％，该条件下微蚀速率为0．5I山m／min，过程稳定可控。
，
[关键词]微蚀；过硫酸盐；tOt酸；腐蚀速率
[中图分类号]TGl74 [文献标识码]A
on PerformanceofSodiumPersuifate／SulfuricAcid
StudyMicroetching System
YANG
Yan．u Jie
De-liang，CHENQian-wen，LUO
South of and 41
(Central 0004，China)
UniversityForestryTechnology，Changsha
Inorderto the conditionsofthesodium acid
technological system，the
[Abstract] get optimum persulfate／sulfurie
ofthe the
staticcorrosionmethodwasusedto therelated micro—etcherand
study parametersincludingcompositions oper-
resultsshowthatthe isexcellentwhen
atingtemperature．Theexperimental etchingperformance maintaining
is concentrationis9-15 is75—125 andsulfuricacidcontentis2-4％．The
26—32。C，copper g／L，sodiumpersulfate g／L
conclusioncanbedrawnthatundertheseconditionstherateof is0．5 andthe isstableand
micro—etching
iuLm／min process
controllable．
acid rate
[Keywords]Microetch；Sodiumpersulfate；SulfuricMicroetching
0 引 言 可控
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