F／1．3抛物面零检验补偿器设计.pdfVIP

维普资讯 第31卷 第 1期 光电工程 Vo1．31，No．1 2004年 1月 Opto-ElectronicEngineering Jan，2004 文章编号：1003-501X(2004)01-0012-04 F／I．3抛物面零检验补偿器设计 伍 凡，陈 强 ， (中国科学院光电技术研究所，四川 成都 6l02o9) 摘要：根据会聚光路中使用的O er补偿器和平行光路中使用的两片式补偿器的要求，设计出了 四个针对 F／I．3抛物面的补偿器，并从剩余波像差、公差要求、加工工艺性、装调等方面对它们 的性能做出比较，确定了三个可用于实际补偿检验的设计结果，其剩余波像差均小于2／35。所述 补偿器的设计方法和要求具有普遍性，设计结果也可用于同类型主镜补偿器的设计。 关键词：补偿器：零检验；补偿检验；非球面 中圈分类号：TN715 文献标识码：A DesignofanulltestingcompensatorforF／1．3paraboloidmirror WUFan，CHENQiang (InstiutteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：TwokindsofOffnercompensatorstObeusedinconvergentlightpathnadonedoublelens compensatortobe used inparallellightpathforF／I．3praabol6idalmirrorraedesigned．Thedesign methodisdiscussed．FourdesignsalecompraedtOdeterminehteoptimum configurationfrom htenagle ofresidualwavefronterror,tolerance，alignmentandfabricationprocess．Th eresidualwavefronterror ofthreefinaldesingsraelesshtna 1／35ofawavelenght(PV)．Th edesignmehtodisuniversalnadhte desing resultsCna be usedinhtecompensatordesignforohterpraaboloidalmirror． Keywords：Compensator；Nulltesting；Compensationtesting；Asphericsurface 引 言 目前，随着小磨具数控抛光、应力盘抛光和离子束抛光等技术的成功应用和不断完善，制造高质量的 大相对孔径非球面主镜已非难事，现今所加工的主镜大多数相对孔径在l：l—l：1．5之间，有的甚至达到 l：0．8t¨ 。 补偿检验技术在大 口径非球面镜的检验中已被越来越广泛地使用，它成功地解决了过去依靠同 等直径以上的平面镜才能完成抛物面主镜检验的难题。由于用于补偿检验的补偿器的直径比被检验的非球 面镜的直径小得多，因此，在大多数情况下将补偿器设计成简单的两片或三片式光学系统。 当非球面相对孔径小于1：2时，其法线像差相对较小，补偿器的设计不是一件困难的事情；但是随着 相对孔径的增大，其法线像差急剧增加，特别是高级像差，这时，选取一个什么样的结构方案去设计制造 高质量的补偿器就成为补偿检验的关键 问题。 本文针对一块相对孔径1：1．3的抛物面，讨论分析了大相对孔径补偿器的结构，并根据实际使用情况， 设计了用于会聚光路中的Offner补偿器和用于平行光路中的两片式补偿器，分析比较了补偿器性能与剩余 波像差、制造公差、安装调整和加工特性等因素的关系，确定了较佳的结构形式。 1 0ffner补偿器设计 Offner补偿器在大 口径非