f-Θ物镜非线性扫描误差的检测研究.pdfVIP

维普资讯 第31卷 第4期 光电工程 Vo1．31．No．4 2004年 4月 Opto—ElectronicEngineering Apr,2004 文章编号：1003—501X (2004)04—0009—04 f一0物镜非线性扫描误差的检测研究 郑旭峰，倪旭翔，陆祖康，王立强 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027) 摘要：在振镜和f-o线性扫描物镜构成的线性扫描机构中，f-O~#镜 的设计、加工误差会 引起一 定的非线性扫描误差，影响扫描成像的质量。为了检测f一0物镜 的非线性扫描误差，使用基于线 阵 CCD 的检测电路和扫描光点位置检测算法进行了实验研究，得到了可用于校正的扫描光点位 置以及振镜摆角的对应关系曲线和f-O~#镜的非线性扫描误差曲线。 关键词：生物芯片扫描仪；f-o物镜；非线性扫描误差；误差检测 中图分类号：TN29 文献标识码：A Detectionofnonlinearscanningerrorforf-thetaobjective ZHENG Xu-feng，NIXu-dang，LU Zu-kang，WANG Li-qiang (StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstruments，Zh~iangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：Inalinearscanningmechanismconstitutedbypolarizationfilterandf-themlinera scanning objective，thedesignandprocessingerrorsoff-thetaobjectivewillcausesomenonlinerascanningerrors andwillaffectscanningimagingquality~Inordertomeasurenonlinearscnaningerrorofthef-them objective，anexperimentalstudyiscarriedoutbyusingdetectioncircuitbasedonlinearCCDanda scanning spotposition detection algorithm．In thisway thecorresponding relation curve between scanningspotpositionVS．polraizationfiltertiltangleandnonlinearscanningerrorcurveoff-theta objectiveareobtained，andthesecurvescanbeappliedtocalibratingnonlinearscanningerror． Keywords：Biochipscanner；f-thetaobjective；Nonlinerascanningerror；Errordetection 引 言 生物芯片技术是近年来生命科学 、微电子学、微机械 、计算机 、物理以及化学等多领域 、多学科交叉 的一门技术，是一种高效 、大规模获取生物信息的重要手段，它包括生物芯片的制作和杂交信号的检测 、 分析等相关技术 。杂交信号的检测和分析工作由生物芯片扫描仪来完成，生物芯片扫描仪按类型主要分为 两种 ：激光共聚焦生物芯片扫描仪和CCD生物芯片扫描仪 。前者的扫描分辨率较高，扫描速度较慢 ；后者 扫描分辨率较低，扫描速度较快 。目前国内外市场上的激光共聚焦生物芯片扫描仪的扫描机理多是二维机 械扫描，这种扫描方式具有扫描惯性大、扫描频率低 、生物芯片扫描时间长等缺点。为了弥补这些缺点， 在激光共聚焦生物芯片扫描仪的研究工作中，我们采用了光机二维扫描技术，即一维的扫描成像由线性扫 描f一0物镜和振镜 (扫描器)构成的光学线性扫描机构来完成