采用数字微镜的共焦显微镜的研制.pdfVIP

第38卷第6期 光电工程 Vbl_38．No．6 2011年 6月 Opto-ElectronicEngineering June．2011 文章编号：1003—501X(2011)06—0065—06 采用数字微镜的共焦显微镜的研制 张运波，侯文玫，郑继红，官志超 (上海理工大学 光电信息与计算机工程学院，上海 200093) 摘要：研究了基于数字微镜器件(DMD)的多路并行共焦显微镜。利用 DMD产生特定的图案对光源进行调制，形 成多路并行共焦检测工作模式，其作用相当于虚拟针孔阵列，可以代替现有的并行扫描方式。采用 DMD作为共 焦系统的并行横向扫描方式，在不损失分辨率的前提下，大大提高了测量速度。系统中虚拟针孔的大小和周期等 关键参数具有程序可控制性，能够根据不同的要求对样品进行测量。解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像 造成的干扰问题。设计了DMD横向扫描策略。对样机进行了测试实验，取得了系统的深度响应曲线，并且成功 还原 了被测物表面的微结构。 关键词：共焦检测；数字微镜器件；虚拟针孔阵列；并行扫描 中图分类号：TH742．9 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003．501X．201t．06．011 TheDevelopmentofParallelConfocalM icroscope EmployingDigitalM icromirrorDevice ZHANGYun_bO，HoUW en—mei，ZHENGJi-hong，GUANZhi-chao (SchoolofOptical-ElectricalandComputerEngineering,UniversityofShanghaiforScienceandTechnology， Shanghai200093，China) Abstract：A multi—pointparallelconfocalmicroscopeisdesignedanddevelopedbasedonDigitalMicromirrorDevice (DMD)．Operatedwithspecificpatterns，hteDMDcanmodulatelightsourceintomultiplebeams．TheDMDfunctionsas virtualpinholearrayna dtakestheplaceoftraditionalpinholestorealizethelateralscnaningtechnique．Accordingtothe research，hteDMD basedconfocalsystem callachievepraallelscnaninginthecaseofensuringaxialresolution．Inthat way,itcannotonlyincreasetheinspectingspeed，butalsoprogrammablelycontrolthekeypraametersofthesystem，such aspinholesizeandfrequency．Theinnersurfacereflectioninterferenceofthebeamsplitterprism waseliminated，anda trna sversescanstrategywasdesinged．Bycarryingoutexperimentalmeasurementontheprototype，depthresponsecalve wasacquiredandthethree—dimensionalprofileofthetargetobjectwassuccessufllyrestored． Keywords：conf