二元台阶型光栅的校正傅里叶展开耦合波分析.pdfVIP

维普资讯 第28卷 第4期 光电工程 v0】．28，No．4 2001年 8月 Ejectronic AuP，2001 文章编号 ：1003—501X(2001)04—0013～06 二元台阶型光栅的 校正傅里叶展开耦合波分析 周传宏，王植恒，张奇志，聂 娅，傅克祥 (ml川大学物理系，四川成都 610064) 摘要：介绍了经过改进的耦合波方法。该方法通过舟析介质以及电磁波在光栅矢量方向上的连续 性问题 ，在计算时采用校正傅里叶展开规则，使计算结果取得很好的收效。在求解透射丰与反射 率 时，通过 1八广 更反射 系数阵和连射 系数 阵，避 免 了病态拒 阵的产生，使得数值计算是稳 定的， 目此可 以处理大槽深 、多台阶的光栅 问题 。同其它方法相此 ，该方法计算速度 大大加快 。 关键词 ：：元光栅；耦台波；校正傅里叶 中图分类号：TN266 文献标识码：A AnalysisforBinaryStaircaseGratingbyCoupled-Wave M ethodwithCorrectFourierExpansion ZHOU Chuan—hong，WangZhi-heng，ZHANG Qi—zhi，NIEYa，FUKe—xiang (DepartmentofPhysics，S~huanUniversity，Chengdu610209，China) Abstract：Animprovedcoupled—wavemethodispresentedinthepaper．A goodconvergenceof thecalculatingresultshasbeenachieved bythismethodthroughanalyzingthecontinuityof medium andelectromagneticwaveinvectordirectionofgratingandadoptingtheruleofcorrect Fourierexpansionincalculation．Ⅵ ensolringtransmittaneeandreflcctivity．thegeneratingof theabnormaIstatematrixhasbeenavoidedthroughintroductionofgeneralizedrcflectivitvma— trixandtransmittancematrix．In thiswaythenumericalcalculation isstableandthegrating withlargeslotdepthand multi—stepcanbeprocessed．Comparedwiththeothermetl1ods．the calculationspeedofthismethodislargelyspedup． Keywords：Binarygrating；Couplingwaves；CorrectFourier 引 言 经过 30多年对衍射光栅电磁理论的研究，目前矢量衍射方法已成为一相对成熟的光学研究理论，先 后出现了微分法[t-a]积分法嘲、模式法 、耦台波法 ”等数值计算方法。耦合波法由于计算简单、快 捷，因此被广泛应用于处理各种精细光学结构问题。但是，用通常的耦合波法求解本征矩阵方程，计算结果 往往收敛很慢，这种情况对于TM波尤其突出。另外，在计算透射率和反射率时，一般的数值方_法[。I1z会 出现计算结果不稳定的问题 ，只能处理光栅层厚极薄的情形，限制了计算方法的应用。 收稿 日期 20o0—09—25{收到修改穑 日期：200