复合型光子筛及其在大口径成像中的应用.pdfVIP

第37卷第4期 光 电工程 V_01．37．NO．4 2010年 4月 Opto—ElectronicEngineering April，2010 文章编号：1003—501X(2010)04—0088—05 复合型光子筛及其在大口径成像中的应用 潘一鸣，谢常青，贾 佳 (中国科学院微电子研究所 纳米加工与新器件集成实验室，北京 100029) 摘要：传统光子筛在大口径成像领域具有衍射效率低和制造数据量 巨大的缺陷，这导致它们很难在实际应用中被 采用。本文提出了一种复合型光子筛，该复合型光子筛将普通光子筛半径的中间 1／3部分用波带环来替代。仿真 结果显示，采用这种设计的光子筛不仅可以有效减小制造数据量，还能提高衍射效率。我们在成像试验中对比了 具有相同特征尺寸的普通光子筛和复合型光子筛，结果显示复合型光子筛能够减少38％的设计数据量并且具有更 高的成像对比度。因此，这种复合型光子筛在大口径x射线成像领域中具有很好的应用前景。 关键词：衍射光学；复合型光予筛；成像；制造数据量 中图分类号：TN256 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2010．04．017 CompositePhotonSieveandItsApplicationinLargeApertureImaging PAN Yi-uring，XIE Chang-qing，JIAJia (KeyLaboratoryofNano-fabricationandNovelDevicesIntegratedTechnology，InstituteofMicroelectronics， CheseAcademyofSciences，Beijing100029，China) Abstract：Largeaperturephotonsieveforimagingoftenhaslow efficiencyandhugesizeofGDSIIfile，whichmakes theirimplementationdifficultinpractice．ThecompositephotonsievewhichcompoundsthezoneplatetotheR／3—2R／3 , partoftheconventionalphoton sieveispresented．Thesimulation resultshowsthatthe elementcan reach higher diffractionefficiencyandsignificantlyreducetheGDSIIfilesize．Intheexperiment，aconventionalphotonsieveanda compositephotonsievewiththesamefeaturesizearedesing ed．Theimagingresultshowsthatthecompositephoton sievecanreducetheGDSIIfilesizeby38％ andhasabettercontrastthantheconventionalphotonsieve．Therefore，the compositephotonsieveisagoodelementappliedinlargeapertureimaginginsoftX r·ays． Keywords：diffractionoptics；compositephotonsieves；imaging；manufacturingdata 0 引 言