光波导显微技术测量微小厚度变化.pdfVIP

维普资讯 第34卷第2期 光电工程 Vo1．34，No．2 2007年2月 Opto-ElectronicEngineering Feb，2007 1 文章编号：1003—501X(2007)02—0032—05 光波导显微技术测量微小厚度变化 杜嘉斌，刘选斌，沈启舜，朱鹏飞，曹庄琪 (上海交通大学 物理系，上海 200240) 摘要：在表面等离子波显微技术(SPM)的基础上，提出了一种新的反射型波导显微理论，并且进行了实验研究。 这种显微技术采用棱镜波导耦合结构，在棱镜下底面依次镀有金属膜一波导层一样品层．利用导模共振吸收峰对 样品层厚度敏感的特性，通过反射光强的测量来确定样品层厚度的变化值．和表面等离子波显微技术相 比，光波 导显微技术所采用的波导结构能够有效地削弱金属的吸收特性造成的影响，减小衰减全反射曲线的半峰全宽，进 而提高波导显微对厚度变化的灵敏度．实验表明，光波导显微技术对厚度变化有很高的灵敏度。 关键词：导波光学：衰减全反射：显微术；金属薄膜 中图分类号：TN814 文献标识码：A Thicknessmeasurementoftinychangebasedonguidedwavemicroscopy DUJia．bin，LIUXuan．bin，SHENQi．shun， ZHUPeng-fei，CAO Zhuang-qi (DepartmentofPhysicsShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai200240，China) Abstract：A new typeofmicroscopy isproposedby using theprism andasymmetricalmetal—cladding polymer waveguideconfiguration．Thestructureconsistsofacouplingprism nad3-layerfilm coatedonthebouom ofprism in properorde~The3-layerfilmsaremetallayer,waveguidelayerna dsamplelayer．Owetothesensitivefeatureofsma ple thicknesstotheresonna ceabsorptionpeakoftheguidedmode，htechna geofthesma plethicknessCna bedetermined through themeasurementofthelightintensity．Th eexperimentalresultsshow thehigh sensitivity oftheproposed microscopy． Keywords：Guidedwaveoptits；Attenuatedtotalreflection；Microscopy；Meatlthinfilm 己丁II 言目 在可见光波段工作的传统光学显微镜，由于衍射效应的限制，分辨率和放大倍数都缺乏进一步提高的 潜力，而以扫描电子显微镜，扫描隧道显微镜为代表的传统非光学显微镜则取得了重大的发展，其分辨率 已可达到原子级的水平。然而，这些不采用光子作为信息载体的显微镜，对观察样品限制较多，对样品环 境有着严格要求，甚至对观察对象会造成一定程度的伤害。因此，尽管传统非光学显微镜在分辨率上优势 明显，但却无法完全取代光学显微镜，提高光学显微镜的分辨率，仍然具有重大的意义。8O年代兴起的表 面等离子波显微技术，利用表面等离子波来观察金属薄膜表面细微结构的图 “。表面等离子波是一种在 金属与介质界面上传播的TM波，特征是：波矢量是介质的介电系数和厚度的灵敏