多维精密光学调整架坐标解耦合分析.pdfVIP

第38卷第4期 光 电工程 VO1．38．NO．4 2011年 4月 Opto—ElectronicEngineering April，2011 文章编号 ：1003一S01X(2011104—0037—04 多维精密光学调整架坐标解耦合分析 罗 (暨南大学(珠海校区)电气信息学院，厂一东 珠海 519070) 摘要：由于无法对调整架各维调节 自由度之间的坐标耦合关系进行量化和补偿校正，一般在光学系统装调 中通常 忽略坐标耦合情况，造成光学调整的误差。本丈通过数学建模与仿真，详细分析了多维精密光学调整架各维运动 自由度之间的耦合关系，对多维光学调整架的各维调整量进行分解变换 ，对各维调整量之间的坐标耦合进行 了补 偿校正，测试结果表明，该方法可以有效减小实际机械调整量和期望的光学调整量之间存在差异，从而实现更加 准确的光学调整 。 关键词：精 密光学调整架；坐标耦合；解耦合；补偿校正 勇 中图分类号：TH691．9；TP249 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2011．04．007 Coordinates·decouplingofM ultidimensional PrecisionOpticalAdjustingFrame LUO Yong (ElectricalandinformationCollege，，JinanUniversity(ZhuhaiCampus)， Zhuhai519070，GuangdongProvince，China) Abstract：In opticalalignment，becausequantizing andcompensating ofthecoupling relationkeepsaproblem，the coordinatescouplingisusuallyignored．resultinginadjustingerrorinaccurateopticaladjusting．Throughmodelingand simulation，thecouplingrelationofeachadjustingrfeedom ofamultidimensionalprecisionopticaladjustingflameis analyzedindetail．Throughdecomposedtransformationofeachadjustingfreedom，thecouplingrelationbetweeneach adjustingrfeedomiscompensatedandcorrected．Testresultshowsthat：byusingthismethod，theerrorbetweenexpected opticaladjustingvalueandactualmechanicaladjustingvaluecanbereducedeffectively，andmoreaccurateoptical adjustingisachieved． Keywords：precisionopticaladjustingrfame：coordinatescoupling；decoupling；compensationandcorrection 0 引 言 光学装调实验中光学元器件的调整，实际上就是对其六个 自由度中的几个 自由度进行调整llJ。不同的 光学调整架基本设计理念都是为了实现对一个或多个 自由度进行调整并保证调整精度 J。光学实验 中，常 用的是对光学元器件五个 自由度进行调整的五维调整架p。 刈于五维光学