大口径多孔透镜离轴成像研究.pdfVIP

维普资讯 第 34卷第9期 光电工程 V_oI．34．No．9 2007年 9月 Opto—ElectronicEngineering Sep，2007 文章编号：1003—501X(2007)09—0025—05 大口径多孑L透镜离轴成像研究 高 仲 2，马君显2，周崇喜 ，罗先刚 ，杜春雷 ，王长涛 (1．中国科学院光电技术研究所 微细加工光学技术国家重点实验室，四川 成都 610209； 2．深圳大学 先进技术研究中心，广东 深圳 5l8060) 摘要：设计并采用微细加工技术制作 了直径 =50mm，特征尺寸为 10gm的大口径多孔透镜(photonsieve)。在一 定的视场下采用数值计算和实验方法分析 了其聚焦特性和 MTF曲线，为克服多孔透镜一级衍射效率较低 ，成像 质量受背景光干扰的影响，采用了同轴和离轴成像实验。实验结果与聚焦特性一致，两种实验方法得出的不同实 验结果表明：离轴成像系统效果克服 了同轴成像受0级背号光的影响，改善了像质 ，为很多一级衍射效率较低的 衍射透镜成像提供一种新的成像方式。 关键词：多孔透镜；大口径透镜；离轴成像；聚焦特性 中图分类号：TN256 文献标志码：A Off-axisimagingofphotonsievewithlargeaperture GAO Zhong～ ，M A Junxian2，ZHOU Chong-xi， ’ LUO Xiangang ，DU Chun-lei，W ANG Chang-tao (1．StateKeyLaboratoryofOpticalTechnologiesforMicrofabrication，InstituteofOpticsandElectronics， theChineseAcademyofSciences，Chengdu6l0209，China； 2．AdvancedTechnologiesResearchCenter,ShenzhenUniversity，Shenzhen5l8060，China) Abstract：Aphotonsievewithp~ameterofdiameterD=-50mm minimum microholediameterof10um formedonalayer ofmetalfilm supportedbyapieceofthinglass．wasdesignedandfabricatedbymeansofmicrofabricationtechnique． BothfocusspotandMTFcurveswerepresentedandanalyzedincertainView ofField(VOF)insimulatedand experimentalwaysto evaluate itsimaging characteristics．Off-axisimaging experimentswerecarriedoutusing the elementtoimprovetheimagingquality,nadon—axisimagingexperimentisdoneforcompraison．Theresultsshow focus spotwasinexcellenta~eementwithsimulatedvalueandoff-axisimagingarebetterthanthatofon。axisimagingby gettingovertheblurryeffectcausedbythe0-orderdiffractivewaveonbackground，whichcouldofferan