大口径平面基准仪反射镜支撑技术.pdfVIP

第39卷第3期 光 电工程 V0ll-39．NO．3 2012年 3月 Opto·ElectronicEngineering March，2012 文章编号：1003—501X(2012)03—0025—05 大口径平面基准仪反射镜支撑技术 付亮亮 ，何 欣 ，吴 谨b，王忠善 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 a．空间光学部，b．装校与检测技术研究室，长春 130021) 摘要：大口径平面基准仪是在大口径、大视场的空间光学遥感器光学系统装调过程中必须应用的基准工具，随着 光学系统的口径和视场的不断增大，平面基准仪 口径也不断增大，本文从满足犬口径平面基准仪反射镜在复杂的 2--况下综合面形误差要求的角度出发，介绍了1000mn3大口径平面基准仪反射镜及其支撑结构材料的选择 ，讨 论了反射镜的柔性支撑结构的设计方法，并运用 CAD／CAE工程分析软件进行分析及优化，应用有限元法优化出 一 种合理的反射镜柔性支撑结构 。 关键词：大 口径；反射镜；SiC；柔性支撑 中图分类号：TH744 文献标志码：A doi：1O．3969／j．issn．1003．501X．2012．03．005 SupportTechniqueintheLargePlainBenchmark InstrumentReftectedM irror FU Liang-liang ，HE Xin ，W U Jin ，W ANG Zhong-shan (a．DepartmentoftheSecondSpaceOptical；b．DepartmentofResettingandDetectionLab， ChangchunInstituteofOpticsFineMechanicsand ics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130021，China) Abstract：Thelargeplainbenchmarkinstrumentisindispensabletoassemblageofthelargecaliberspacecameraoptical system，andtheplainbenchmarkinstrument’Scaliberisrequiredtobebiggerandbiggerbecausethecaliberofcamera opticalsystem isbiggerandbigger．Inordertomeettherequirementsoftheintegratedprecisionofthemirrorsegment usedforbigspacecamera，selectionofthematerialsofreflectedmirrorandsupportingstructurewasintroduced，andthe designmethodoftheflexiblesupportingstructureofthemirrorwasproposed，whichisanalyzedandoptimizedthrough CAD／CAE engineeringanalysissoftware．Furthermore，aSort ofreasonableflexiblesupportingstructureforreflected mirrorisoptimizedbymeansofFiniteElementMethod(FEM)． Keywords：largecaliber；reflectedmirror；SiC；flexiblesupporting 0 引 言 平面基准仪作为一种常用的光学检测设备，在光学系统装调 中，广泛地应用于光学元件的面形误差检 验、光学系统装调、光学系统集成后的波像差 自准检测等工作。 近年来，由于大 口径、大视场的离轴光学系统结构的特殊性，