大口径光学件误差均化拼接技术.pdfVIP

维普资讯 第33卷第6期 光电工程 Vo1．33，No．6 2006年 6月 Opto-ElectronicEngineering June，2006 文章编号：1003—501X(2006)06一Ol18—03 大 口径光学件误差均化拼接技术 程 刚 ，蒋世磊2 (1．中国矿业大学 机电工程学院，江苏 徐州 221008； 2．中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209) 摘要：运用子孔径检测及拼接的方法可完成大口径光学件面形的干涉测量。为了能够减少子孔径 拼接的误差累积与数据处理算法带来的精度影响，运用子孔径拼接的误差拼接算法，并通过对实 验检测数据的处理，得到拼接结果与全孔径检测结果比较，面形波面峰谷值相差0．0842，均方根 值相差0．0l，误差在Veeco光学干涉测量仪器的公差范围内。实验结果验证了误差均化算法可有 效减少误差的传递与累积，实现子孔径拼接技术对大口径光学件的正确检测。 关键词：子孔径拼接；大口径光学件；误差均化法；面形测量 中图分类号：TN247 文献标识码：A Largeapertureopticalcomponentsofstitchingtechnique byerroraveragnig CHENGGang。，JIANGShi-lei‘ (1．CollegeofMechanicalandElectricalEngineering， ChinaUniversityofMiningandTechnology，Xuzhou221008，China； 2．TheInstituteof~ ticsandElectronics，theChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：Thelargeapertureopticalcomponentscanbemeasuredbystitchingtechnique．Inorderto reduceitsaccumulationerrorandimprovetheprecision，erroraveragingmethodcanbeusedtosolve thesequestionsintheexperiments．Bycomparingtheresultofstitchinginterferometerwiththewhole plane，thedifferenceofPeak-Valleyisonly0．084(2equalsto633nm)nadthenumberofrootmean squraeisonly0．01．Thedifferenceoftheresultsisinthetoleranceofmeasureequipment(Veeco)． From thestudyofexperiment’Sresult，theerroraveragingmethodistheeffectivemethodtoreducethe transfernadaccumulationoferrorcausedbythestitchingtheoryintestingthelargeapertureoptical components． Keywords：Sub-aperture stitching；Largeaperture opticalcomponents；Erroraveraging method； Surfaceshapemeasurement 己II 言口 随着天文