二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响.pdfVIP

第 38卷第 9期 光 电工程 、，o1．38．No．9 201】年 9月 Opto—ElectronicEngineering Sept，2011 文章编骨：：1,003=501x(2ol1)09—0046—04 ；王元光学元件横 向加工误差对衍射效率的影响 殷可为 一，黄智强 ，林妩媚 ，邢廷文 (1．中国科学院光 电技术研究所，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘妾：横向加工误差包括对准误差和线宽误差，加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本 文基于标量衍射理论，提出了一种与 MATLAB相结合的分层计算方法，重点分析 了4阶和 8阶二元光学元件横 。向为土误差和衍射效率的关系。结果表明，控制8阶二元光学元件对准误差，可抑制衍射效率的迅速下降，适当 调整线宽能够减小对准误差造成的影响。这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值。该方法简便且适用’ 性强，可对二元光学元件的加工误差进行准确分析。 关键词：衍射光学元件；二元光学元件；横向误差；衍射效率；标量衍射理论；MATLAB 中图分类号：0436．1 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003．501X．2011．09．009 ： AnalysisofEffectofLateralF。abrication ， ErrorsonBinaryOpticalElements YIN’Ke-wei，．，HUANGZhi．qiang ，LINW u．mei，XINGTing．wen (blabofAppliedOptics，InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．Gradua~UniversityofChineseAcademyofSciences，Bejiing100049，China) 。 Abstract：MisalignmentandlinewidtherrorsaremainfabricationerrorsinBinaryOpticalElementstBOE)．Itis impo~anttOanalyzetheinfluenceoffabricationerrorsonbinary opticalelementdesigners．Weprovidedalayerbylayer MATLAB analysismethod based on scalardiffraction theory t。O study relationship between diffractive effi ciency and lateralfabricationerrorsabout4stepand8stepbinaryopticalelements．Ourmainfindingsarethatdiffractionefficiency canbecontrolledbydominatingmisalignmenterrorsfor8stepbinary opticalelements，anditalsocanbecompensatedby ad…justinglinewidthandalignment．Thismethodisconvenientandprecisetoanalyzefabricationerrorsofbinary optical elements． 【 J Ke