二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法.pdfVIP

维普资讯 第 28誊 第 2期 光电工程 V0l_28 No．2 20o1年 4 月 toElectronic ADri1 2001 文章编号：i003--501X(2001)02--0004--03 二元光学元件激光直写设备主轴速度 调节的一种新方法 熊木地，张慧敏，肖文礼，邢忠宝 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 】30022) 摘要：舟绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统，舟析了主轴伺服 系统的结构与控 制 系统的性能要求。在二 元光学元件激光直 写设备 中，主轴速度调 节效果的好坏是决定刘划效率 与精度 的关键 因素之一。本文提 出 了利用离焦信号的特点，判断出离焦信号的极值 ．点，并计算相 邻极值点之问的时间间隔，最终估算 出离焦信号频带，并娘据 离焦信号的频带 自动调 节主轴速度 的新方法。采用此方法可极大地提 高到划效率 关键词：二元光学；激光直 写；主轴伺服控制；速度控制；自适应控制 中图分类号：TN256 文献标识码 ：A ANewMethodforAdjustingSpindleVelocityof BinaryOpticalElementLaserDirect—WritingDevice XIONG M udi，ZHANG Hui—min，XIAO W en-li，XING Zhong—bao (ChangrhunInstituteofOptics．FineMechanics口 Physics， ChineseAcademyofSciences，Changehun130022，China) Abstract：AprecisionscrvocontrolsystemforBinary()ptiealElement(BoE)laserdirect—writ— ingdeviceisintroduced．Thestructureoflhcspindleservosystem andtheperformancere— quirementsof1hccontrolsyslem areanalyzed．Inlhe130E laserdirectwritingdevice．1head justingeffectofspindlevelocityisoneofthekeyfactorsfordeterminingthe[ithographyeffec tivenessandaccuracy．A new methodforautomaticallyadjustingthespindlevelocityispro posedinthepaper．Themethodjuges1heextremepointofOUt一0ffocussignalandcalculates thetimeintervalsbetweenlhcadjacentextremepointsbymeansofthecharacteristicsofOut offocussignaltandfinallycslimatcsthehandoftheOul—offocussigna1．Thelithographyef fectivenesscanheobviouslyimprovedwiththismethod． Keywords：Binaryoptics；Laserdirectwriting；Spindleservosystems：VelocitycontroI；Adap— tiveeontro1 引 言 二元光学被称为二十世纪几十年代的光学技术。—：元光学元件(BOE)的设计与制作是以波动光学为 收稿 日期：2000